公开(公告)号：CN107407873B

公开(公告)日：2018-12-04

申请号：CN201580077251.2

申请日：2015-12-29

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： H·恩济 ,  S·凯迪

IPC: G03F7/022 ,  G03F7/023 ,  G03F7/039 ,  G03F7/075 ,  G03F7/40

Abstract: 根据本发明的实施方式包含正色调、可水显影、可自成像的聚合物组合物，其用于形成能够图案化以产生用于微电子器件、微电子封装、微机电系统、光电子器件及显示器的结构的膜。

公开(公告)号：CN107407872B

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201680018462.3

申请日：2016-02-12

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： P·坎达纳朗齐 ,  L·罗德 ,  H·恩济 ,  张伟 ,  B·卡纳普

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038

Abstract: 根据本发明的实施方式包含含有各种光碱产生剂的自可成像聚合物组合物，其可用于形成可被图案化以生成用于微电子器件、微电子封装、微机电系统、光电子器件及显示器的结构的膜。本发明的组合物可根据在可水显影介质中的预期应用而被调整为形成正色调或负色调图像。由其形成的图像表现出改善的性质，除其它性质增强之外，还包括低晶片应力和更好的热机械性质。

公开(公告)号：CN107548405B

公开(公告)日：2018-12-14

申请号：CN201680020411.4

申请日：2016-03-31

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： H·恩济 ,  瀬户圭太郎 ,  张伟

IPC: C08F132/08 ,  C08F2/02 ,  C08F2/38

Abstract: 本发明涉及某些链转移剂用于控制某些多环烯烃类单体的加成本体聚合的分子量的用途。更具体而言，本发明涉及一系列取代的双环链烯在一系列官能化的降冰片烯型单体的加成本体聚合中作为链转移剂的用途。本发明还涉及含有在通过加成本体聚合而形成“模内”多环烯烃类聚合物时作为链转移剂的双环链烯的组合物。