公开(公告)号：CN107428529B

公开(公告)日：2020-09-25

申请号：CN201680007700.0

申请日：2016-02-10

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 松野敬

IPC: C01B13/11

Abstract: 本发明提供一种臭氧气体产生装置及臭氧气体产生装置的制造方法。该臭氧气体产生装置具备：一对电极(11)，隔开规定间隔彼此对置地配置；一对电介质(12)，分别设置在一对电极的彼此对置的面；以及功能膜(13)，设置在一对电介质的彼此对置的面中的至少一侧。而且，功能膜含有氧化钛及氧化铌的晶系的化合物。

公开(公告)号：CN102712472B

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201080043675.4

申请日：2010-09-21

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 松野敬 ,  竹村理

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/90

Abstract: 本发明公开了一种臭氧气体发生装置。该臭氧气体发生装置在一对电极(14、14)的各相向面侧分别设置有一个电介质(13)。在一对电介质(13、13)之间形成有放电间隙(20)，该放电间隙(20)与原料气体供给通路和臭氧气体排出通路连接。在一对电介质(13、13)上设置有面向放电间隙(20)的功能膜(17)。功能膜(17)中包含：选自铌、钽、钼、铬中的一种或两种以上金属的第一金属氧化物、以及选自钛、钨、锌、铁中的一种或两种以上金属的第二金属氧化物。

公开(公告)号：CN107428529A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680007700.0

申请日：2016-02-10

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 松野敬

IPC: C01B13/11

Abstract: 本发明提供一种臭氧气体产生装置及臭氧气体产生装置的制造方法。该臭氧气体产生装置具备：一对电极(11)，隔开规定间隔彼此对置地配置；一对电介质(12)，分别设置在一对电极的彼此对置的面；以及功能膜(13)，设置在一对电介质的彼此对置的面中的至少一侧。而且，功能膜含有氧化钛及氧化铌的晶系的化合物。

公开(公告)号：CN108712998A

公开(公告)日：2018-10-26

申请号：CN201780015820.X

申请日：2017-03-21

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 松野敬

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11

Abstract: 一种臭氧气体生成装置包括：第1电极部(11)，包含第1电极(111)；及第2电极部(12)，与第1电极部相对置，并且在与第1电极部之间隔着能够放电的指定间隔而配置，且包含第2电极(121)；第1电极部及第2电极部中的至少一个包括设置在相对置的一侧的第1电极或第2电极的表面的电介质(112、122)，并且至少一个包括设置在相对置的一侧的第1电极、第2电极或电介质的表面的至少一部分，且包含金属或金属化合物中的至少1个的层(113、123)；第1电极部及第2电极部构成为相对置的表面的间隔的精度为±3％以上且±50％以下。

公开(公告)号：CN102712472A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201080043675.4

申请日：2010-09-21

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 松野敬 ,  竹村理

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/90

Abstract: 本发明公开了一种臭氧气体发生装置。该臭氧气体发生装置在一对电极(14、14)的各相向面侧分别设置有一个电介质(13)。在一对电介质(13、13)之间形成有放电间隙(20)，该放电间隙(20)与原料气体供给通路和臭氧气体排出通路连接。在一对电介质(13、13)上设置有面向放电间隙(20)的功能膜(17)。功能膜(17)中包含：选自铌、钽、钼、铬中的一种或两种以上金属的第一金属氧化物、以及选自钛、钨、锌、铁中的一种或两种以上金属的第二金属氧化物。