公开(公告)号：CN101093814A

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：CN200710110053.9

申请日：2007-06-19

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 原田真 ,  小原达也 ,  小林雄二

IPC: H01L21/683 ,  B23Q1/30 ,  G02F1/1333 ,  G12B5/00

Abstract: 本发明提供一种平台装置，可以确保平台位置检测精度。平台装置(10)的Y平台(18)具有：在X方向横架在引导部(14A、14B)上方的横架部(30)和与横架部(30)的两端结合且沿引导部(14A、14B)移动的一对滑块(32A、32B)。滑块具有与引导部(14A、14B)的左右侧面相对的侧衬垫(34、35)和在Z方向上正对的上衬垫(36)。在引导部(14)的左右侧面上，设有一对直线检测元件(22A、22B)。第1直线检测元件(22A)测定相对于引导部(14A)的左侧面的Y平台(18)的移动位置。第2直线检测元件(22B)测定相对于引导部(14A)的右侧面的Y平台(18)的移动位置。

公开(公告)号：CN1824458A

公开(公告)日：2006-08-30

申请号：CN200610009405.7

申请日：2006-02-21

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 小林雄二 ,  中森靖仁

IPC: B23Q1/25 ,  B23Q1/72 ,  B23Q5/22 ,  B23Q17/00

Abstract: 本发明以可修正梁相对工作台的平行度为课题，提供载物台装置和龙门型载物台装置及载物台装置的控制方法。载物台装置(10)为使作为工件的基板(11)沿水平方向移动的被称为“龙门型”的载物台装置，具有基座(12)、沿Y方向可移动地设置在基座上的工作台(14)、固定在基座上的门型龙门部(16)、控制工作台沿Y方向移动并进行龙门部在Z方向上的高度调整控制的控制装置(17)。龙门部具有横架在工作台上方的梁(18)和支持梁两端部的一对Z轴驱动机构(20)。并且，梁上设置有测量与工作台的距离的一对Z方向传感器(21A、21B)。通过驱动Z轴驱动机构使Z方向传感器测量到的值相等来使梁处于与工作台的上面平行的状态。

公开(公告)号：CN100521143C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200710110052.4

申请日：2007-06-19

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 原田真 ,  小原达也 ,  小林雄二

IPC: H01L21/683 ,  B23Q1/30 ,  G02F1/1333 ,  G12B5/00

Abstract: 本发明的目的为不需要支持载放工件的吸附板的石基台，对应工件的大型化、且确保载台的位置精度。载台装置(10)具有：固定在地面上的架台(12)；被支持在架台(12)上的一对导向部(14A、14B)；横架在一对导向部(14A、14B)之间，两端被支持在架台(12)上的多个梁(16)；Y载台(18)，沿一对导向部(14A、14B)在Y方向移动；以及一对线性马达(20A、20B)，沿Y方向驱动Y载台(18)的两端部。并且，在梁(16)上载放有载放平板状的工件的吸附板。在工件的面积被大型化而延长Y载台(18)的移动距离的场合，可通过延长导向部(14A、14B)来对应。

公开(公告)号：CN101090086A

公开(公告)日：2007-12-19

申请号：CN200710111812.3

申请日：2007-06-15

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 原田真 ,  小原达也 ,  小林雄二

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/00 ,  B23Q1/30 ,  B05B13/02

Abstract: 本发明提供一种平台用的反作用力处理装置，使直线电动机的反作用力不通过地面传播到平台。平台用反作用力处理装置(100)具有第一地面下结构体(110)和第二地面下结构体(120)，第一地面下结构体(110)支撑平台装置(10)的架台(12)，第二地面下结构体(120)支撑直线电动机支撑部(46)。第一地面下结构体和第二地面下结构体被收纳到地面下凹部(140)内，该地面下凹部形成于地面(130)的平台装置所设置的平台设置部(132)的下方。在此地面下凹部(140)内形成非接触空间(150)，使第一地面下结构体和第二地面下结构体分开。

公开(公告)号：CN1824458B

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：CN200610009405.7

申请日：2006-02-21

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 小林雄二 ,  中森靖仁

IPC: B23Q1/25 ,  B23Q1/72 ,  B23Q5/22 ,  B23Q17/00

Abstract: 本发明以可修正梁相对工作台的平行度为课题，提供载物台装置和龙门型载物台装置及载物台装置的控制方法。载物台装置(10)为使作为工件的基板(11)沿水平方向移动的被称为“龙门型”的载物台装置，具有基座(12)、沿Y方向可移动地设置在基座上的工作台(14)、固定在基座上的门型龙门部(16)、控制工作台沿Y方向移动并进行龙门部在Z方向上的高度调整控制的控制装置(17)。龙门部具有横架在工作台上方的梁(18)和支持梁两端部的一对Z轴驱动机构(20)。并且，梁上设置有测量与工作台的距离的一对Z方向传感器(21A、21B)。通过驱动Z轴驱动机构使Z方向传感器测量到的值相等来使梁处于与工作台的上表面平行的状态。

公开(公告)号：CN101093813A

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：CN200710110052.4

申请日：2007-06-19

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 原田真 ,  小原达也 ,  小林雄二

IPC: H01L21/683 ,  B23Q1/30 ,  G02F1/1333 ,  G12B5/00

Abstract: 本发明的目的为不需要支持载放工件的吸附板的石基台，对应工件的大型化、且确保载台的位置精度。载台装置(10)具有：固定在地面上的架台(12)；被支持在架台(12)上的一对导向部(14A、14B)；横架在一对导向部(14A、14B)之间，两端被支持在架台(12)上的多个梁(16)；Y载台(18)，沿一对导向部(14A、14B)在Y方向移动；以及一对线性马达(20A、20B)，沿Y方向驱动Y载台(18)的两端部。并且，在梁(16)上载放有载放平板状的工件的吸附板。在工件的面积被大型化而延长Y载台(18)的移动距离的场合，可通过延长导向部(14A、14B)来对应。

公开(公告)号：CN1611430A

公开(公告)日：2005-05-04

申请号：CN200410083505.5

申请日：2004-10-08

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 富田良幸 ,  小林雄二 ,  小梁川靖 ,  光永阳介

IPC: B65G49/06 ,  B05C5/02 ,  G01N21/896

Abstract: 本发明提供一种可以减少搬运所需推力、并且能够抑制被搬运物的弯曲的搬运装置、具备这种搬运装置的涂敷系统及检验系统。搬运装置(12、62)具备：具有沿被搬运物(28)的搬运方向X延伸的主面(16a)的底座(16)；向搬运方向X延伸的引导部件(18)；被引导部件(18)引导，从而能够向搬运方向X移动的移动部件(20)；被固定在移动部件(20)上，并且与主面(16a)保持间隙，而固定被搬运物(28)的固定部件(24)；以及，用于在底座(16)上的搬运方向X的部分区域内，对被搬向搬运方向X的被搬运物(28)进行气体的吐出和吸引的气体吐出吸引机构(26)。