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公开(公告)号：CN100464401C
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200510072863.0
申请日：2005-05-20
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 富田良幸
Abstract: 本发明公开的载物台装置(10)，其可消除驱动力的反作用力的影响。其具有：固定在地基(12)上的固定基座(14)；支承在固定基座(14)上的基板工作台(16)；跨在基板工作台(16)上方而被横架的可动载物台(18)；向Y方向驱动可动载物台(18)的两端部的一对线性电动机(20A、20B)；使线性电动机(20A、20B)并进驱动的控制装置(23)。在电动机支承部(34A、34B)的支柱部(34A2、34B2)的下端和固定基座(14)之间，设置有滑动机构(35A、35B)。线性电动机(20A、20B)向Y方向驱动可动载物台(18)时，电动机支承部(34A、34B)向与可动载物台(18)的移动方向相反的方向移动。由此，能够不受来自线性电动机(20A、20B)的反作用力影响，高精度地进行可动载物台(18)的驱动控制。
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公开(公告)号：CN1274462C
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN200410031337.5
申请日：2004-03-26
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种夹紧装置，能进行Z轴方向平移和倾斜动作，并且即使受到水平方向或向下方向的加速度作用，也会消除位置偏移。设有3组由放置在支承构件(107～109)上的球(13～15)和在下部具有该球的接受部(16-1～18-1)且使该接受部与上述球的上部相接触的夹紧轴(16～18)组成的组合。上述夹紧轴由上述接受部和由此开始向上方延伸的轴部(16-2～18-2)构成。以使上述轴部可倾斜地向上方突出的状态在上述支承构件侧固定用于保持上述球和上述夹紧轴的组合的支座(104～106)，盘簧(101～103)介于上述接受部和上述支座之间，将该接受部向下方推压。
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公开(公告)号：CN100344053C
公开(公告)日：2007-10-17
申请号：CN200410031436.3
申请日：2004-03-29
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明涉及由结构体上形成的线性马达可动子等可动部驱动的振动控制装置，其目的在于利用简单的结构来对可动部驱动时产生的反作用力进行反作用力处理，充分抑制结构体振动，并对可动部进行高精度定位。该振动控制装置，在机座(33)和地板(31)之间设置防振机构(32A、32B)，把由线性马达定子(37)和线性马达可动部(38)构成的反作用力处理促动器(42)，在与地板(31)形成一体的支撑件(36)上使距离H1和距离H2相等的铅直方向(Y1、Y2方向)位置形成，利用控制装置(43)输出同一驱动信号，通过驱动工作台(35)和增益补偿器(44)来控制反作用力处理促动器(42)。
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公开(公告)号：CN1611430A
公开(公告)日：2005-05-04
申请号：CN200410083505.5
申请日：2004-10-08
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: B65G49/06 , B05C5/02 , G01N21/896
Abstract: 本发明提供一种可以减少搬运所需推力、并且能够抑制被搬运物的弯曲的搬运装置、具备这种搬运装置的涂敷系统及检验系统。搬运装置(12、62)具备：具有沿被搬运物(28)的搬运方向X延伸的主面(16a)的底座(16)；向搬运方向X延伸的引导部件(18)；被引导部件(18)引导，从而能够向搬运方向X移动的移动部件(20)；被固定在移动部件(20)上，并且与主面(16a)保持间隙，而固定被搬运物(28)的固定部件(24)；以及，用于在底座(16)上的搬运方向X的部分区域内，对被搬向搬运方向X的被搬运物(28)进行气体的吐出和吸引的气体吐出吸引机构(26)。
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公开(公告)号：CN1700438A
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN200510072863.0
申请日：2005-05-20
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 富田良幸
Abstract: 本发明公开的载物台装置(10)，其可消除驱动力的反作用力的影响。其具有：固定在地基(12)上的固定基座(14)；支承在固定基座(14)上的基板工作台(16)；跨在基板工作台(16)上方而被横架的可动载物台(18)；向Y方向驱动可动载物台(18)的两端部的一对线性电动机(20A、20B)；使线性电动机(20A、20B)并进驱动的控制装置(23)。在电动机支承部(34A、34B)的支柱部(34A2、34B2)的下端和固定基座(14)之间，设置有滑动机构(35A、35B)。线性电动机(20A、20B)向Y方向驱动可动载物台(18)时，电动机支承部(34A、34B)向与可动载物台(18)的移动方向相反的方向移动。由此，能够不受来自线性电动机(20A、20B)的反作用力影响，高精度地进行可动载物台(18)的驱动控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1538600A
公开(公告)日：2004-10-20
申请号：CN200410031436.3
申请日：2004-03-29
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明涉及由结构体上形成的线性马达可动子等可动部驱动的振动控制装置，其目的在于利用简单的结构来对可动部驱动时产生的反作用力进行反作用力处理，充分抑制结构体振动，并对可动部进行高精度定位。该振动控制装置，在机座(33)和地板(31)之间设置防振机构(32A、32B)，把由线性马达定子(37)和线性马达可动部(38)构成的反作用力处理促动器(42)，在与地板(31)形成一体的支撑件(36)上使距离H1和距离H2相等的铅直方向(Y1、Y2方向)位置形成，利用控制装置(43)输出同一驱动信号，通过驱动工作台(35)和增益补偿器(44)来控制反作用力处理促动器(42)。
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公开(公告)号：CN1532845A
公开(公告)日：2004-09-29
申请号：CN200410031334.1
申请日：2004-03-26
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明提供能满足所要求的性能，并能适用于大型化的设有石平台的载物台装置。其结构是，通过静压轴承衬垫(14a)～(14c)支撑的移动体(14)能在经过表面加工的石平台上沿着X轴方向、Y轴方向滑动。上述石平台的尺寸是和上述移动体的滑动区域相对应的大小，该石平台固定在由具有石平台承接部(100a)的铸铁制的铸件或钢结构物构成的底座(100)上。
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公开(公告)号：CN1532845B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200410031334.1
申请日：2004-03-26
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供能满足所要求的性能，并能适用于大型化的设有石平台的载物台装置。其结构是，通过静压轴承衬垫(14a)～(14c)支撑的移动体(14)能在经过表面加工的石平台上沿着X轴方向、Y轴方向滑动。上述石平台的尺寸是和上述移动体的滑动区域相对应的大小，该石平台固定在由具有石平台承接部(100a)的铸铁制的铸件或钢结构物构成的底座(100)上。
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公开(公告)号：CN1977144A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200580021421.1
申请日：2005-04-19
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: G01B11/00 , G01D5/38 , G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/68
Abstract: 本发明涉及进行高精度移动的台的状态的检测的检测装置及台装置，目的是提供一种使用容易制造的形状的基准栅格、能够检测台的5个自由度的状态、并且能够提高检测的精度的检测装置及台装置。通过具备朝向基准栅格照射光的光源部、通过多个开口部将光分光为多束光的分光机构、和对多束反射光一齐受光的受光元件的检测机构，根据多束反射光的变化检测相对基准栅格的状态。
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公开(公告)号：CN1534689A
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN200410031955.X
申请日：2004-03-31
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种微调载物台装置，即使在搭载负荷超过5kg时，也能够实现高停止稳定性和高响应性。微调载物台装置包括在基体(100)上构筑的倾斜载物台、X－Y载物台。倾斜载物台具有倾斜板(201)，并且在倾斜板和基体之间具备至少3个转换机构，该转换机构通过第一压电驱动器(Z1－1、Z2－2)和楔形段(215)的组合，将与基体平行的运动转换为与基体垂直的Z轴方向运动。X－Y载物台，具有与倾斜板组合的X－Y板(301)，并且，还包括：至少2个第二压电驱动器(302、303)，与X轴方向、Y轴方向的一方相互平行地延伸，至少以2点驱动上述X－Y板；以及第三压电驱动器(304)，在X轴方向、Y轴方向的另一方延伸，并驱动上述X－Y板。
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