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公开(公告)号：CN1274462C
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN200410031337.5
申请日：2004-03-26
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种夹紧装置，能进行Z轴方向平移和倾斜动作，并且即使受到水平方向或向下方向的加速度作用，也会消除位置偏移。设有3组由放置在支承构件(107～109)上的球(13～15)和在下部具有该球的接受部(16-1～18-1)且使该接受部与上述球的上部相接触的夹紧轴(16～18)组成的组合。上述夹紧轴由上述接受部和由此开始向上方延伸的轴部(16-2～18-2)构成。以使上述轴部可倾斜地向上方突出的状态在上述支承构件侧固定用于保持上述球和上述夹紧轴的组合的支座(104～106)，盘簧(101～103)介于上述接受部和上述支座之间，将该接受部向下方推压。
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公开(公告)号：CN1532845A
公开(公告)日：2004-09-29
申请号：CN200410031334.1
申请日：2004-03-26
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明提供能满足所要求的性能，并能适用于大型化的设有石平台的载物台装置。其结构是，通过静压轴承衬垫(14a)～(14c)支撑的移动体(14)能在经过表面加工的石平台上沿着X轴方向、Y轴方向滑动。上述石平台的尺寸是和上述移动体的滑动区域相对应的大小，该石平台固定在由具有石平台承接部(100a)的铸铁制的铸件或钢结构物构成的底座(100)上。
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公开(公告)号：CN1532845B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200410031334.1
申请日：2004-03-26
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供能满足所要求的性能，并能适用于大型化的设有石平台的载物台装置。其结构是，通过静压轴承衬垫(14a)～(14c)支撑的移动体(14)能在经过表面加工的石平台上沿着X轴方向、Y轴方向滑动。上述石平台的尺寸是和上述移动体的滑动区域相对应的大小，该石平台固定在由具有石平台承接部(100a)的铸铁制的铸件或钢结构物构成的底座(100)上。
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公开(公告)号：CN1533864A
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN200410031337.5
申请日：2004-03-26
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种夹紧装置，能进行Z轴方向平移和倾斜动作，并且即使受到水平方向或向下方向的加速度作用，也会消除位置偏移。设有3组由放置在支承构件(107～109)上的球(13～15)和在下部具有该球的接受部(16－1～18－1)且使该接受部与上述球的上部相接触的夹紧轴(16～18)组成的组合。上述夹紧轴由上述接受部和由此开始向上方延伸的轴部(16－2～18－2)构成。在上述支承构件侧固定着支座(104～106)，以使上述轴部可倾斜地向上方突出的状态保持上述球和上述夹紧轴的组合，盘簧(101～103)介于上述接受部和上述支座之间，将该接受部弹向下方。
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