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公开(公告)号:CN102637703A
公开(公告)日:2012-08-15
申请号:CN201210024736.3
申请日:2012-02-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/335
CPC classification number: H01L27/14629 , H01L27/14621 , H01L27/14627 , H01L27/14636 , H01L27/14641 , H01L27/14643 , H01L27/14685
Abstract: 本发明涉及固态图像拾取设备和用于制造固态图像拾取设备的方法。提供一种用于制造固态图像拾取设备的方法,所述固态图像拾取设备包括:包含光电转换部的基板;和被布置于基板上的波导,所述波导与光电转换部对应并且包含芯部和覆层,所述方法包括:第一步骤和第二步骤,其中,在第一步骤和第二步骤中,通过高密度等离子体增强化学气相沉积,在覆层中的开口中形成要被形成为芯部的部件,并且,在第一步骤之后,在第二步骤中,在基板的背面侧的射频功率与基板的正面侧的射频功率的比率比第一步骤中的该比率高的条件下,通过高密度等离子体增强化学气相沉积,形成要被形成为芯部的部件。
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公开(公告)号:CN105818537B
公开(公告)日:2018-03-06
申请号:CN201610045927.6
申请日:2016-01-22
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 元件基板及液体喷出头。液体喷出头的元件基板包括:基材;绝缘膜,其位于基材上;加热电阻元件,其用于产生喷出液体用的热能;保护膜,其用于覆盖加热电阻元件;第一电气布线层,其配置在绝缘膜中并用于向加热电阻元件供给电流;第二电气布线层,其配置在绝缘膜中的与第一电气布线层不同的层并用于向加热电阻元件供给电流;以及至少一个连接构件,其在绝缘膜内延伸,以使第一电气布线层与加热电阻元件连接,用于使电流沿第一方向流动,加热电阻元件包括沿与第一方向交叉的第二方向延伸的连接区域,所述至少一个连接构件连接至该连接区域。
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公开(公告)号:CN105818537A
公开(公告)日:2016-08-03
申请号:CN201610045927.6
申请日:2016-01-22
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/05 , B41J2/14088
Abstract: 元件基板及液体喷出头。液体喷出头的元件基板包括:基材;绝缘膜,其位于基材上;加热电阻元件,其用于产生喷出液体用的热能;保护膜,其用于覆盖加热电阻元件;第一电气布线层,其配置在绝缘膜中并用于向加热电阻元件供给电流;第二电气布线层,其配置在绝缘膜中的与第一电气布线层不同的层并用于向加热电阻元件供给电流;以及至少一个连接构件,其在绝缘膜内延伸,以使第一电气布线层与加热电阻元件连接,用于使电流沿第一方向流动,加热电阻元件包括沿与第一方向交叉的第二方向延伸的连接区域,所述至少一个连接构件连接至该连接区域。
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公开(公告)号:CN102637703B
公开(公告)日:2016-03-16
申请号:CN201210024736.3
申请日:2012-02-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14629 , H01L27/14621 , H01L27/14627 , H01L27/14636 , H01L27/14641 , H01L27/14643 , H01L27/14685
Abstract: 本发明涉及固态图像拾取设备和用于制造固态图像拾取设备的方法。提供一种用于制造固态图像拾取设备的方法,所述固态图像拾取设备包括:包含光电转换部的基板;和被布置于基板上的波导,所述波导与光电转换部对应并且包含芯部和覆层,所述方法包括:第一步骤和第二步骤,其中,在第一步骤和第二步骤中,通过高密度等离子体增强化学气相沉积,在覆层中的开口中形成要被形成为芯部的部件,并且,在第一步骤之后,在第二步骤中,在基板的背面侧的射频功率与基板的正面侧的射频功率的比率比第一步骤中的该比率高的条件下,通过高密度等离子体增强化学气相沉积,形成要被形成为芯部的部件。
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公开(公告)号:CN113466982A
公开(公告)日:2021-10-01
申请号:CN202110319564.1
申请日:2021-03-25
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 提供了滤色器阵列、电子器件和滤色器阵列的制造方法。所述阵列包括配置于基部构件并且分别具有不同颜色的第一滤色器、第二滤色器和第三滤色器。第一滤色器和第三滤色器彼此相邻地配置,第二滤色器包括布置在第三滤色器的端部和基部构件之间的部分,并且第三滤色器的端部和第二滤色器的所述部分与第一滤色器接触。
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公开(公告)号:CN108372722B
公开(公告)日:2020-04-21
申请号:CN201810154140.2
申请日:2016-01-22
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 元件基板及液体喷出头。液体喷出头的元件基板包括:基材;绝缘膜,其位于基材上;加热电阻元件,其用于产生喷出液体用的热能;保护膜,其用于覆盖加热电阻元件;第一电气布线层,其配置在绝缘膜中并用于向加热电阻元件供给电流;第二电气布线层,其配置在绝缘膜中的与第一电气布线层不同的层并用于向加热电阻元件供给电流;以及至少一个连接构件,其在绝缘膜内延伸,以使第一电气布线层与加热电阻元件连接,用于使电流沿第一方向流动,加热电阻元件包括沿与第一方向交叉的第二方向延伸的连接区域,所述至少一个连接构件连接至该连接区域。
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公开(公告)号:CN109203695A
公开(公告)日:2019-01-15
申请号:CN201810665098.0
申请日:2018-06-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/05
CPC classification number: B41J2/14129 , B41J2/14072 , B41J2/1601 , B41J2202/13 , H01L23/345 , B41J2/05
Abstract: 本发明涉及半导体器件及其制造方法、液体排出头和液体排出装置。提供了一种用于液体排出头的半导体器件。该器件包括:布线层;绝缘构件,其形成在布线层之上;发热元件,其布置在绝缘构件之上并与绝缘构件接触,并且电连接到布线层;金属构件,其布置在绝缘构件之上并与绝缘构件接触,并且电连接到布线层;以及导电构件,其覆盖金属构件的上表面,并且通过金属构件电连接到布线层。导电构件的电阻率小于金属构件的电阻率和发热元件的电阻率。发热元件和金属构件彼此分开。
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公开(公告)号:CN108454237A
公开(公告)日:2018-08-28
申请号:CN201810151084.7
申请日:2018-02-14
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/1607 , B41J2/14129 , B41J2/1603 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/164 , B41J2202/13 , B41J2202/18 , H01L25/16 , H01L41/042 , H01L41/0475 , H01L41/0533 , H01L41/25 , H01L41/29 , B41J2/1632
Abstract: 本发明提供了制造液体排出头基板的方法。所述方法包括:形成液体排出元件和覆盖所述液体排出元件的保护膜;以及形成包括导电部件的布线结构。对所述液体排出元件和保护膜中的一个执行退火,使得在所述液体排出头基板的制造期间由所述液体排出元件和保护膜中的一个接收的热历史中的最高温度变得高于在所述液体排出头基板的制造期间由所述导电部件接收的热历史中的最高温度。
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公开(公告)号:CN108372722A
公开(公告)日:2018-08-07
申请号:CN201810154140.2
申请日:2016-01-22
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 元件基板及液体喷出头。液体喷出头的元件基板包括:基材;绝缘膜,其位于基材上;加热电阻元件,其用于产生喷出液体用的热能;保护膜,其用于覆盖加热电阻元件;第一电气布线层,其配置在绝缘膜中并用于向加热电阻元件供给电流;第二电气布线层,其配置在绝缘膜中的与第一电气布线层不同的层并用于向加热电阻元件供给电流;以及至少一个连接构件,其在绝缘膜内延伸,以使第一电气布线层与加热电阻元件连接,用于使电流沿第一方向流动,加热电阻元件包括沿与第一方向交叉的第二方向延伸的连接区域,所述至少一个连接构件连接至该连接区域。
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