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公开(公告)号：CN1479337A
公开(公告)日：2004-03-03
申请号：CN03178640.5
申请日：2003-07-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01J9/00 , H01J9/02 , H01L21/027 , G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0035 , G02F1/136286 , G03F7/2022 , G03F7/2024 , H01J9/027
Abstract: 本发明提供制造构件图形、配线结构体、电子源、图像显示装置的方法。在基板上具备图形化构件的构件图形的制造方法，包括：使施加到基板上的负性感光材料的所要求区域从第一方向进行曝光的第一曝光工序；从与上述第一曝光方向的相反的第二方向进行曝光的第二曝光工序；在上述曝光工序之后进行显影而形成上述构件的前体图形的显影工序；以及对上述前体图形进行焙烧的工序。
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公开(公告)号：CN101086616A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200710112260.8
申请日：2003-07-18
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0035 , G02F1/136286 , G03F7/2022 , G03F7/2024 , H01J9/027
Abstract: 本发明提供一种构件图形、配线结构体以及图像显示装置的制造方法。在基板上具备图形化构件的构件图形的制造方法，包括：使施加到基板上的负性感光材料的所要求区域从第一方向进行曝光的第一曝光工序；从与上述第一曝光方向的相反的第二方向进行曝光的第二曝光工序；在上述曝光工序之后进行显影而形成上述构件的前体图形的显影工序；以及对上述前体图形进行焙烧的工序。
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公开(公告)号：CN100592204C
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200710112260.8
申请日：2003-07-18
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0035 , G02F1/136286 , G03F7/2022 , G03F7/2024 , H01J9/027
Abstract: 本发明提供一种构件图形、配线结构体以及图像显示装置的制造方法。在基板上具备图形化构件的构件图形的制造方法，包括：使施加到基板上的负性感光材料的所要求区域从第一方向进行曝光的第一曝光工序；从与上述第一曝光方向的相反的第二方向进行曝光的第二曝光工序；在上述曝光工序之后进行显影而形成上述构件的前体图形的显影工序；以及对上述前体图形进行焙烧的工序。
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公开(公告)号：CN100372041C
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN03178640.5
申请日：2003-07-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01J9/00 , H01J9/02 , H01L21/027 , G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0035 , G02F1/136286 , G03F7/2022 , G03F7/2024 , H01J9/027
Abstract: 提供一种构件图形的制造方法，该构件图形在基板上具备图形化构件，其特征在于包括：使施加到基板上的负型感光性材料的所要求区域从第一方向进行曝光的第一曝光工序；从与上述第一方向相反的第二方向进行曝光的第二曝光工序；在上述曝光工序之后进行显影而形成上述构件的前体图形的显影工序；以及对上述前体图形进行焙烧的工序，且上述负型感光性材料是跨在从预先配置于上述基板上的构件上到上述基板上而施加的。
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