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发明公开
石英玻璃坩埚的评价方法、制造方法以及石英玻璃坩埚审中-实审

公开(公告)号：CN116917555A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202280018384.2

申请日：2022-02-25

Applicant: 信越石英株式会社

Inventor： 石原裕 , 马场裕二 , 上田哲司 , 横泽裕也

IPC: C30B15/12

Abstract: 本发明是对具有外层和内层的石英玻璃坩埚进行评价的方法，其中，外层由含有气泡的不透明石英玻璃构成，内层由透明石英玻璃构成，具有以下工序：准备评价对象即石英玻璃坩埚；向该评价对象即石英玻璃坩埚照射紫外线作为激励光；对从照射了所述紫外线的石英玻璃坩埚发出的蓝色荧光进行检测；以及根据有无所述蓝色荧光，对所述石英玻璃坩埚的外层上的氧缺乏缺陷的状态进行评价。由此，提供一种石英玻璃坩埚的评价方法，其能够以不破坏的方式简单地评价进行氢掺杂、水蒸气的导入等而在石英玻璃坩埚产生的氧缺乏缺陷的状态。

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