石英玻璃坩埚的评价方法、制造方法以及石英玻璃坩埚

    公开(公告)号:CN116917555A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202280018384.2

    申请日:2022-02-25

    Abstract: 本发明是对具有外层和内层的石英玻璃坩埚进行评价的方法,其中,外层由含有气泡的不透明石英玻璃构成,内层由透明石英玻璃构成,具有以下工序:准备评价对象即石英玻璃坩埚;向该评价对象即石英玻璃坩埚照射紫外线作为激励光;对从照射了所述紫外线的石英玻璃坩埚发出的蓝色荧光进行检测;以及根据有无所述蓝色荧光,对所述石英玻璃坩埚的外层上的氧缺乏缺陷的状态进行评价。由此,提供一种石英玻璃坩埚的评价方法,其能够以不破坏的方式简单地评价进行氢掺杂、水蒸气的导入等而在石英玻璃坩埚产生的氧缺乏缺陷的状态。

    成型板、石英玻璃坩埚的制造装置以及石英玻璃坩埚的制造方法

    公开(公告)号:CN113493301B

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202110350161.3

    申请日:2021-03-31

    Inventor: 石原裕

    Abstract: 本发明提供一种成型板,其为了对应多种用户要求并且兼顾提高生产性和节约原料、以及削减废弃物,而能够灵活地变更模具内的原料粉成型体形状。该成型板在制造石英玻璃坩埚的装置中用于成型原料粉成型体,其中,所述制造石英玻璃坩埚的装置具备模具和原料粉供给单元,并将供给至所述模具的内侧的原料粉成型为坩埚形状的所述原料粉成型体,并进行熔融,所述成型板具备成型板主体、以及相对于该成型板主体可拆装的边缘板,所述边缘板在当所述成型板配置于所述模具的内侧时与所述原料粉成型体的上端部相对的位置上具有与所述原料粉成型体的上端部的表面的形状对应的形状。

    成型板、石英玻璃坩埚的制造装置以及石英玻璃坩埚的制造方法

    公开(公告)号:CN113493301A

    公开(公告)日:2021-10-12

    申请号:CN202110350161.3

    申请日:2021-03-31

    Inventor: 石原裕

    Abstract: 本发明提供一种成型板,其为了对应多种用户要求并且兼顾提高生产性和节约原料、以及削减废弃物,而能够灵活地变更模具内的原料粉成型体形状。该成型板在制造石英玻璃坩埚的装置中用于成型原料粉成型体,其中,所述制造石英玻璃坩埚的装置具备模具和原料粉供给单元,并将供给至所述模具的内侧的原料粉成型为坩埚形状的所述原料粉成型体,并进行熔融,所述成型板具备成型板主体、以及相对于该成型板主体可拆装的边缘板,所述边缘板在当所述成型板配置于所述模具的内侧时与所述原料粉成型体的上端部相对的位置上具有与所述原料粉成型体的上端部的表面的形状对应的形状。

    石墨电极、电极装置及电极、以及石英玻璃坩埚的制造方法

    公开(公告)号:CN119894836A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202380069459.4

    申请日:2023-09-28

    Inventor: 石原裕 八锹秀

    Abstract: 本发明是一种石墨电极,其在用于制造石英坩埚的电弧放电中使用,其特征在于,所述石墨电极具备石墨电极主体和从所述石墨电极主体突出的连接部,能够经由该连接部与用于向所述石墨电极通电的电极装置连接,所述连接部是通过打入而与所述电极装置连接的形状。由此,本发明提供一种降低加工成本并且能够与现有的石墨电极同样地使用的石墨电极。

    单晶硅锭提拉用石英玻璃坩埚
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119032203A

    公开(公告)日:2024-11-26

    申请号:CN202380034926.X

    申请日:2023-04-14

    Inventor: 石原裕

    Abstract: 本发明为一种单晶硅锭提拉用石英玻璃坩埚,其具有由直筒部、R部及底部构成的坩埚形状,并具有由含有气泡的不透明石英玻璃构成的外层、及由透明石英玻璃构成且壁厚为1.5mm以上的内层,所述单晶硅锭提拉用石英玻璃坩埚的特征在于,关于所述内层的距离所述石英玻璃坩埚内表面1mm的位置的Na、K及Li的浓度,Na小于5质量ppb、K小于5质量ppb,且Li小于100质量ppb,关于所述外层的所述R部及所述底部的壁厚方向的Na、K及Li的平均浓度,Na小于10质量ppb、K小于50质量ppb,且Li小于180质量ppb。由此,可提供一种可抑制所提拉的单晶硅锭的针眼的单晶硅锭提拉用石英玻璃坩埚。

Patent Agency Ranking