公开(公告)号：CN101421866A

公开(公告)日：2009-04-29

申请号：CN200580012366.X

申请日：2005-02-11

Applicant: 加州大学评议会

Inventor： M·马杜 ,  C·王 ,  G·贾 ,  L·塔赫拉巴迪 ,  B·朴 ,  R·昭克

IPC: H01M4/04 ,  H01M4/02

CPC classification number: H01M4/583 ,  H01M4/663

Abstract: 提供具有高纵横比碳结构的CMEMS结构和用于生产该高纵横比CMEMS结构的改进方法。高纵横比碳结构通过热分解构图的碳前驱体聚合物而被微加工。在惰性气体和合成气体气氛的多步工艺中，在高温下，该高温低于聚合物的玻璃转变温度(Tg)。多层CMEMS碳结构由多层负性光致抗蚀剂形成，其中第一层形成碳互连，第二层和连续层形成高纵横比碳结构。连接CMEMS碳结构的高导电率互连轨迹是通过在衬底上沉积金属层、在该金属层顶部上构图聚合物前驱体以及热分解该聚合物以产生最终结构来形成的。具有高纵横比电极的装置的互连使用自对准绝缘方法来绝缘。

公开(公告)号：CN101031677A

公开(公告)日：2007-09-05

申请号：CN200580033124.9

申请日：2005-03-29

Applicant: 加州大学评议会

Inventor： M·马杜 ,  C·王 ,  L·塔赫拉巴迪 ,  B·帕克 ,  R·昭克

IPC: D01F9/127 ,  C23C16/26 ,  D01F9/12

Abstract: 提供了含具有由高深宽比带来的大表面积和纳米级表面增强的碳结构的C－MEMS构造，以及用于制造所述结构的改进的系统和方法。具体地，高深宽比碳结构通过热解图案化的碳前体聚合物微制造。热解聚合物优选地包括一个在惰性和合成气体气氛和追随聚合物的玻璃化转变温度(Tg)的高温下的多步工艺。通过纳米纹理化碳微结构表面和通过将碳微结构和催化剂暴露于碳氢化物气体向碳微结构中结合纳米级结构增大碳微结构的表面积，其中所述纳米纹理化通过暴露于氧等离子体实现。在一个优选实施方案中，碳微结构是含碳气体源。