公开(公告)号：CN119880821A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202510068480.3

申请日：2025-01-16

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 张溢桐 ,  郭文平 ,  杨克成 ,  夏珉 ,  邵谭彬

IPC: G01N21/25 ,  G01N21/01

Abstract: 本申请属于薄膜结构检测技术领域，具体公开了一种多层薄膜结构无损检测装置与方法。该装置包括：三维成像检测模块、分束器，以及按照预设光路设置在分束器四周的宽带光源单元、参考臂、样品臂和光谱测量单元；分束器将宽带光源单元出射的线光束分为两束光束，一束光束经样品臂扫描待测多层薄膜结构形成信号光，另一束光束经参考臂形成参考光；光谱测量单元在样品臂的扫描过程中，采集待测多层薄膜结构每层结构的各个采样点的参考光和信号光，并生成对应的干涉光谱信息；三维成像检测模块基于获取的所有采样点的干涉光谱信息，对待测多层薄膜结构进行三维成像检测。通过本申请可以在实现无损检测效果的同时，提升多层薄膜结构检测的空间分辨率。

公开(公告)号：CN119715464A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202411940362.9

申请日：2024-12-26

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 郭文平 ,  张溢桐 ,  杨克成 ,  夏珉

IPC: G01N21/45 ,  G01N21/49 ,  G01J3/45

Abstract: 本申请属于光学相干层成像领域，具体公开了一种用于线视场光谱域OCT系统的光谱标定方法，包括：通过调节线视场光谱域OCT系统中样品镜处的升降台，获取两个光程差分别对应的干涉信号瞬时相位，并进行相减获取瞬时相位差；基于标定光源，通过遮挡线视场光谱域OCT系统中样品臂，在探测器上生成离散的谱线，并获取标定光源对应的光谱强度分布；基于瞬时相位差和标定光源对应的光谱强度分布，计算各谱线的峰值的亚像素位置及亚像素位置对应的瞬时相位差；基于各个谱线对应的波数和瞬时相位差，通过线性拟合，确定瞬时相位差和波数之间的线性关系，并基于线性关系标定对应的波数。通过本申请，能够实现更高精度的线视场OCT光谱标定结果。