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公开(公告)号:CN113345783A
公开(公告)日:2021-09-03
申请号:CN202110614682.5
申请日:2021-06-02
Applicant: 南京大学
IPC: H01J37/09 , H01J37/295
Abstract: 本发明涉及显微成像技术领域,更具体地说,涉及一种可调光阑、光阑转换系统和电子显微镜。包括:成像单元,控制单元,驱动单元,伺服电机和可调光阑。可调光阑包括两个旋转芯,所述旋转芯之间彼此镜像对应,旋转芯上设置有旋转轴。本方案通过在电子显微镜中增加光阑自动转换装置,同时改变传统光阑的结构与传动方式,从而可使光阑转换与成像同步,可自动化获得一系列在不同光阑作用下所得的图像。同时,本发明公开的齿轮结构还可以完全抵挡住两个旋转芯之间狭缝位置的电子,使得电子探针不发散,获得更好地处理结果。
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公开(公告)号:CN113345783B
公开(公告)日:2024-08-16
申请号:CN202110614682.5
申请日:2021-06-02
Applicant: 南京大学
IPC: H01J37/09 , H01J37/295
Abstract: 本发明涉及显微成像技术领域,更具体地说,涉及一种可调光阑、光阑转换系统和电子显微镜。包括:成像单元,控制单元,驱动单元,伺服电机和可调光阑。可调光阑包括两个旋转芯,所述旋转芯之间彼此镜像对应,旋转芯上设置有旋转轴。本方案通过在电子显微镜中增加光阑自动转换装置,同时改变传统光阑的结构与传动方式,从而可使光阑转换与成像同步,可自动化获得一系列在不同光阑作用下所得的图像。同时,本发明公开的齿轮结构还可以完全抵挡住两个旋转芯之间狭缝位置的电子,使得电子探针不发散,获得更好地处理结果。
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