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公开(公告)号：CN104282515B
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201410323934.9
申请日：2014-07-08
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本公开涉及带电粒子束系统和操作带电粒子束系统的方法。该带电粒子束系统包括惰性气体场离子束源、带电粒子束柱和壳体，壳体限定第一真空区域和第二真空区域。惰性气体场离子束源布置在第一真空区域内。第一机械真空泵功能上附接至第一真空区域，离子吸气泵附接至带电粒子束柱，气体供应器附接至第一真空区域，构造成给惰性气体场离子束源供应惰性气体。
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公开(公告)号：CN104282516B
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201410323346.5
申请日：2014-07-08
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/147
Abstract: 本公开涉及一种带电粒子束系统及操作带电粒子束系统的方法。该带电粒子束系统括带电粒子束源、带电粒子柱、样品室、布置在带电粒子柱、带电粒子束源和样品室之一内或之一处的多个电动装置、以及将AC电压转换为DC电压的至少一个第一转换器。第一转换器定位成与带电粒子束源、带电粒子柱和所述带电粒子室中任一个相距一距离，多个电动装置的所有元件构造成在带电粒子束源运行期间运行时仅由转换器提供的DC电压供能。
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公开(公告)号：CN104282516A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201410323346.5
申请日：2014-07-08
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/147
CPC classification number: H01J27/26
Abstract: 本公开涉及一种带电粒子束系统及操作带电粒子束系统的方法。该带电粒子束系统括带电粒子束源、带电粒子柱、样品室、布置在带电粒子柱、带电粒子束源和样品室之一内或之一处的多个电动装置、以及将AC电压转换为DC电压的至少一个第一转换器。第一转换器定位成与带电粒子束源、带电粒子柱和所述带电粒子室中任一个相距一距离，多个电动装置的所有元件构造成在带电粒子束源运行期间运行时仅由转换器提供的DC电压供能。
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公开(公告)号：CN104282515A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201410323934.9
申请日：2014-07-08
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/08 , H01J37/28 , H01J2237/0807
Abstract: 本公开涉及带电粒子束系统和操作带电粒子束系统的方法。该带电粒子束系统包括惰性气体场离子束源、带电粒子束柱和壳体，壳体限定第一真空区域和第二真空区域。惰性气体场离子束源布置在第一真空区域内。第一机械真空泵功能上附接至第一真空区域，离子吸气泵附接至带电粒子束柱，气体供应器附接至第一真空区域，构造成给惰性气体场离子束源供应惰性气体。
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