-
公开(公告)号：CN115732296A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211047172.5
申请日：2022-08-29
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种粒子束装置(1)，该粒子束装置具有粒子源(11)、提取孔阑(13)、阳极孔阑(14)和束管(23)。该粒子束装置(1)的驱动器系统被配置为向该提取孔阑(13)施加提取孔阑电势(φExt)，向该阳极孔阑(14)施加能够以可变方式设置的阳极孔阑电势(φA)，并且向该束管(23)施加束管电势(φL)。该粒子束装置(1)的控制器被配置为控制该驱动器系统，使得该提取孔阑(13)与该阳极孔阑(14)之间的电压能够以可变方式来设置，因此穿过该阳极孔阑(14)的孔径(14')的该粒子束(3)的电流强度能够以可变方式来设置。
-
公开(公告)号：CN111293019A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201911262518.1
申请日：2019-12-10
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/147 , H01J37/12
Abstract: 本发明涉及一种粒子束系统以及一种用于操作其的方法。粒子束系统包括第一粒子束柱(例如电子束柱)和第二粒子束柱(例如离子束柱)。其中在粒子束系统的第一操作模式下，其中布置有开口的端盖被布置在第一粒子束(例如电子束)的束路径的外侧，并且在粒子束系统的第二操作模式下，端盖被布置为使得第一粒子束的束路径可以延伸穿过端盖的开口，并且来自工作区域的二次粒子可以穿过端盖的开口到达在第一粒子束柱的内部的检测器(39)。当粒子束系统处于第一操作模式时，使用第一粒子束柱记录布置在工作区域中的物体的图像。当粒子束系统处于第二操作模式时，使用第二粒子束(例如离子束)加工物体。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111293019B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN201911262518.1
申请日：2019-12-10
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/147 , H01J37/12
Abstract: 本发明涉及一种粒子束系统以及一种用于操作其的方法。粒子束系统包括第一粒子束柱(例如电子束柱)和第二粒子束柱(例如离子束柱)。其中在粒子束系统的第一操作模式下，其中布置有开口的端盖被布置在第一粒子束(例如电子束)的束路径的外侧，并且在粒子束系统的第二操作模式下，端盖被布置为使得第一粒子束的束路径可以延伸穿过端盖的开口，并且来自工作区域的二次粒子可以穿过端盖的开口到达在第一粒子束柱的内部的检测器(39)。当粒子束系统处于第一操作模式时，使用第一粒子束柱记录布置在工作区域中的物体的图像。当粒子束系统处于第二操作模式时，使用第二粒子束(例如离子束)加工物体。
-
公开(公告)号：CN115732295A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211047168.9
申请日：2022-08-29
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/141 , H01J37/26 , H01J37/28
Abstract: 本发明涉及一种粒子束柱，该粒子束柱被配置为生成例如电子或离子的带电粒子的粒子束，并且将粒子束引导到样品上。粒子束柱包括多孔径光阑和偏转系统，该偏转系统用于选择性地引导粒子束通过设置在多孔径光阑中的多个孔径之一。孔径具有不同的大小，以便将粒子束的电流强度限制为不同的值。粒子束柱还包括用于改变在第一光阑的上游的粒子束的发散角的透镜。透镜可以包括磁透镜，该磁透镜包括具有多个部分的磁芯，这些部分彼此电绝缘并且可以在操作期间具有明显不同的电位。磁芯的一些部分可以在操作期间具有与第一光阑相同的电位。
-
公开(公告)号：CN112309812A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202010728916.4
申请日：2020-07-24
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： B.加姆
Abstract: 在粒子束显微镜中使用两种类型的操作参数，具体地是影响图像质量的第一参数，例如束偏转、聚焦以及像散校正，这些第一参数的设置可以由用户改变以获得更好的图像质量，以及表征操作模式的第二参数，例如束电流、加速电压、物体固持器的位置以及物体固持器的取向，图像质量会在这些第二参数改变时变差。粒子束显微镜的操作模式包括：记录用户在一段时间内进行的对第一参数和第二参数的设置；对多个所记录的第一参数和第二参数的设置进行分析；基于第二参数的当前设置来确定第一参数的在图像质量方面有利的设置；以及设置所确定的第一参数的有利设置。
-
公开(公告)号：CN112309812B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202010728916.4
申请日：2020-07-24
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： B.加姆
Abstract: 在粒子束显微镜中使用两种类型的操作参数，具体地是影响图像质量的第一参数，例如束偏转、聚焦以及像散校正，这些第一参数的设置可以由用户改变以获得更好的图像质量，以及表征操作模式的第二参数，例如束电流、加速电压、物体固持器的位置以及物体固持器的取向，图像质量会在这些第二参数改变时变差。粒子束显微镜的操作模式包括：记录用户在一段时间内进行的对第一参数和第二参数的设置；对多个所记录的第一参数和第二参数的设置进行分析；基于第二参数的当前设置来确定第一参数的在图像质量方面有利的设置；以及设置所确定的第一参数的有利设置。
-
公开(公告)号：CN114944316A
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN202210117944.1
申请日：2022-02-08
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/28 , G01N23/04 , G01N23/2251
Abstract: 本发明涉及一种用于操作粒子辐射设备的方法。此外，本发明还涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的粒子辐射设备。在本发明中提出的是，通过操控第一放大器单元和第二放大器单元来从粒子辐射设备的第一放大倍率范围中选择一个放大倍率。如果在本发明中确定给定了原本可能促使粒子辐射设备切换为来自第二放大倍率范围的另一放大倍率的前提条件，则本发明恰好提出的是，在无需将放大倍率切换为来自第二放大倍率范围的放大倍率的情况下执行以下方法步骤，即：将模拟放大器信号从粒子辐射设备的放大器单元输送至扫描单元；通过使用扫描单元引导粒子射束经过物体；以及利用粒子射束对该物体进行成像、加工和/或分析。
-
-
-
-
-
-
Search Results
7
records
(took 0.034 seconds)
