公开(公告)号：CN103367086A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310219270.7

申请日：2013-04-01

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： M·克纳皮奇

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H02P8/40

CPC classification number: G21K5/10 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/28 ,  H02P8/40

Abstract: 本发明涉及一种用于调整安置在粒子射线设备内的支架元件的位置的方法，其中，所述支架元件设计用于支承物体，所述粒子射线设备具有至少一个用于粒子射线的射线发生器和至少一个用于聚焦粒子射线的物镜，并且其中支架元件设计借助至少一个第一步进电动机可运动。所述方法具有如下步骤：通过以作为交流电的第一电动机电流控制操纵所述第一步进电动机，使所述支架元件开始运动；将所述第一电动机电流调节至第一频率和第一振幅；通过减小所述第一电动机电流的第一频率和第一振幅，对所述支架元件的运动进行制动，其中，将第一频率在第一可预设时间区间内减小至零，并且其中，将第一振幅在第一可预设时间区间内减小至可预设的第一保持电流的振幅。

公开(公告)号：CN103367086B

公开(公告)日：2017-08-15

申请号：CN201310219270.7

申请日：2013-04-01

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： M·克纳皮奇

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H02P8/40

CPC classification number: G21K5/10 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/28 ,  H02P8/40

Abstract: 本发明涉及一种用于调整安置在粒子射线设备内的支架元件的位置的方法，其中，所述支架元件设计用于支承物体，所述粒子射线设备具有至少一个用于粒子射线的射线发生器和至少一个用于聚焦粒子射线的物镜，并且其中支架元件设计借助至少一个第一步进电动机可运动。所述方法具有如下步骤：通过以作为交流电的第一电动机电流控制操纵所述第一步进电动机，使所述支架元件开始运动；将所述第一电动机电流调节至第一频率和第一振幅；通过减小所述第一电动机电流的第一频率和第一振幅，对所述支架元件的运动进行制动，其中，将第一频率在第一可预设时间区间内减小至零，并且其中，将第一振幅在第一可预设时间区间内减小至可预设的第一保持电流的振幅。