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公开(公告)号：CN103295189B
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：CN201310035298.5
申请日：2013-01-30
IPC: G06T5/00 , G06F3/0481
CPC classification number: H04N5/23216 , G02B21/365 , H01J37/265 , H01J2237/22 , H01J2237/28 , H04N1/62
Abstract: 本发明涉及用于数字显微术的图像增强聚光照明模式。一种允许数字显微原始图像的观察者操纵显示器和/或显微镜以获得原始图像内的感兴趣区的增强视图的装置。在一个优选实施例中，聚光照明模式使用于聚光照明感兴趣区的灰度等级与存在于聚光照明区中的像素强度变化匹配。然后可以将被用于聚光照明模式的灰度等级广义化至原始图像。在优选实施例中，聚光照明模式提供了用于允许用户命令来自所显示图像的所选聚光照明区的重新成像的容易机制。此类重新成像可以允许使用更好地拟合聚光照明区的成像参数选择。
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公开(公告)号：CN105518821B
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201480048806.6
申请日：2014-03-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/202 , H01J2237/28
Abstract: 在带电粒子光学系统与试样之间设置了带电粒子束可透射的隔膜的带电粒子束装置中，在试样存在凹凸的情况下，也防止试样与隔膜的接触。根据从检测器(3)输出的检测信号或根据该检测信号生成的图像，监视试样(6)与隔膜(10)的距离，上述检测器(3)检测通过照射初级带电粒子束从试样(6)放出的次级带电粒子。
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公开(公告)号：CN103063881B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201210396453.1
申请日：2012-10-18
Applicant: FEI公司
IPC: G01Q30/04
CPC classification number: H01J37/26 , G01Q10/00 , G01Q30/06 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及用于利用探针扫描样品的扫描方法。本方法涉及一种扫描样品的方法。扫描样品典型地通过利用探针沿大量的平行线扫描样品来进行。在现有技术的扫描方法中，利用标称相同的扫描图案对样品进行多次扫描。本发明基于如下思想：沿扫描方向的方向上的相邻点之间的相干性比与扫描方向垂直的相邻点的相干性好得多。通过组合彼此垂直地扫描的两个图像，因此应当可能形成利用两个方向上的改进的相干性（由于较短的时间距离）的图像。该方法因此牵涉利用两个扫描图案扫描样品，一个扫描图案的线优选地与其他扫描图案的线垂直。从而可能使用一个扫描图案的线上的扫描点的时间相干性来对准其他扫描图案的线，反之亦然。
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公开(公告)号：CN105590822A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201510768953.7
申请日：2015-11-12
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/02 , H01J2237/0216 , H01J2237/16 , H01J37/268 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及具有气压修正的带电粒子显微镜。一种使用带电粒子显微镜的方法，包括以下步骤：在样品保持器上提供样品；引导来自源的带电粒子的射束通过照明器从而照射样品；使用检测器来检测响应于所述照射而从样品发出的辐射通量，特别地包括以下步骤：为显微镜提供气压传感器；从所述气压传感器为自动控制器提供压强测量信号；调用所述控制器以使用所述信号作为到控制程序的输入，以基于所述信号来补偿所述射束和所述样品保持器的相对位置误差。
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公开(公告)号：CN105321170A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510339651.8
申请日：2015-06-18
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/222 , G02B21/0024 , G02B21/0048 , G02B21/008 , H01J37/226 , H01J37/28 , H01J2237/226 , H01J2237/28 , H01J2237/2811 , G02B21/0052 , G06T2207/10061
Abstract: 一种使用扫描类型显微镜累积标本图像的方法,包括以下步骤：-提供从源导向通过照明器的辐射射束以辐射所述标本；-提供用于检测响应于所述辐射从所述标本发出的辐射通量的检测器；-使所述射束经受相对于标本表面的扫描运动，并作为扫描位置的函数记录所述检测器的输出，该方法还包括以下步骤：-在第一采样时段S1中，从跨标本稀疏分布的采样点的第一群集P1采集检测器数据；-重复这个程序以便累积在采样时段的相关联集合{Sn}期间采集的这种群集的集合{Pn}，每个集合的基数N> 1；-通过使用集合{Pn}作为对综合数学重构程序的输入来组合标本的图像，其中，作为所述组合过程的部分，进行数学配准校正来补偿集合{Pn}的不同成员之间的漂移失配。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103295189A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310035298.5
申请日：2013-01-30
Applicant: FEI公司
IPC: G06T5/00 , G06F3/0481
CPC classification number: H04N5/23216 , G02B21/365 , H01J37/265 , H01J2237/22 , H01J2237/28 , H04N1/62
Abstract: 本发明涉及用于数字显微术的图像增强聚光照明模式。一种允许数字显微原始图像的观察者操纵显示器和/或显微镜以获得原始图像内的感兴趣区的增强视图的装置。在一个优选实施例中，聚光照明模式使用于聚光照明感兴趣区的灰度等级与存在于聚光照明区中的像素强度变化匹配。然后可以将被用于聚光照明模式的灰度等级广义化至原始图像。在优选实施例中，聚光照明模式提供了用于允许用户命令来自所显示图像的所选聚光照明区的重新成像的容易机制。此类重新成像可以允许使用更好地拟合聚光照明区的成像参数选择。
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公开(公告)号：CN103063881A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210396453.1
申请日：2012-10-18
Applicant: FEI公司
IPC: G01Q30/04
CPC classification number: H01J37/26 , G01Q10/00 , G01Q30/06 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及用于利用探针扫描样品的扫描方法。本方法涉及一种扫描样品的方法。扫描样品典型地通过利用探针沿大量的平行线扫描样品来进行。在现有技术的扫描方法中，利用标称相同的扫描图案对样品进行多次扫描。本发明基于如下思想：沿扫描方向的方向上的相邻点之间的相干性比与扫描方向垂直的相邻点的相干性好得多。通过组合彼此垂直地扫描的两个图像，因此应当可能形成利用两个方向上的改进的相干性（由于较短的时间距离）的图像。该方法因此牵涉利用两个扫描图案扫描样品，一个扫描图案的线优选地与其他扫描图案的线垂直。从而可能使用一个扫描图案的线上的扫描点的时间相干性来对准其他扫描图案的线，反之亦然。
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公开(公告)号：CN1645548B
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN200510002635.6
申请日：2005-01-21
Applicant: 株式会社东芝
Inventor： 长野修
IPC: H01J37/147 , G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/66
CPC classification number: H01J37/147 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/1536 , H01J2237/28 , H01J2237/3175
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其具备：生成带电粒子束的带电粒子束发生器；生成使上述带电粒子束在外部的基板上成像的透镜场的投影光学系统；围着上述带电粒子束的光轴地配置的偏转器，该偏转器生成对应于上述带电粒子束应入射上述基板的角度其强度在上述光轴方向上变化地形成的偏转场，该偏转场与上述透镜场重叠且使上述带电粒子束偏向并控制朝向上述基板照射的位置。
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公开(公告)号：CN1808683A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200510108934.8
申请日：2005-09-23
Applicant: FEI公司 , 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： N·德荣格 , E·P·A·M·巴克斯 , L·F·菲纳 , A·M·卡沃萨
CPC classification number: H01J37/073 , H01J2209/0223 , H01J2237/06341 , H01J2237/262 , H01J2237/28 , H01J2237/3175
Abstract: 本发明提供适于用在带电粒子设备中的电子源，在该电子源中，可从受到电势、热激励和光子激励中的至少一个的电极提取电子束，由此至少部分电极包括量化为分立能级的传导带的半导体材料。这种电子源具有相对低的能量扩展度，通常比冷场致发射枪(CFEG)的能量扩展度小得多。所述半导体材料可例如包括半导体毫微线。用于这种毫微线的适当半导体材料的实例包括InAs和GaInAs。
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公开(公告)号：CN1585091A
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：CN200410049044.X
申请日：2004-06-11
Applicant: FEI公司
Inventor： H·G·塔佩尔
CPC classification number: G01N1/32 , H01J2237/20 , H01J2237/28
Abstract: 在半导体工业中，显微试样从基底中被切出以用于分析。就已知方法而言，要从基底上切下的试样与连接至操纵器的试样载体相连接，且试样从基底上被切下。随后，该试样被固定在TEM栅格上，并完全与试样载体分离开。根据本发明，试样载体(3)与试样(1)相连接，而试样载体(3)与操纵器(4)分离开。通过使与试样(1)相连接的试样载体(3)远大于(显微)试样(1)，并通过操纵试样载体(3)，使得连接至其上的显微试样的操纵——借助(宏观)操纵器——变得比操纵没有连接试样载体的试样(1)更加容易。此外，还示出了在操纵器(4)和试样载体(3)之间的具有较高自动化程度的机械连接。
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