用于增强感兴趣区域的图像的方法和装置

    公开(公告)号:CN103295189B

    公开(公告)日:2017-11-14

    申请号:CN201310035298.5

    申请日:2013-01-30

    Applicant: FEI 公司

    Abstract: 本发明涉及用于数字显微术的图像增强聚光照明模式。一种允许数字显微原始图像的观察者操纵显示器和/或显微镜以获得原始图像内的感兴趣区的增强视图的装置。在一个优选实施例中,聚光照明模式使用于聚光照明感兴趣区的灰度等级与存在于聚光照明区中的像素强度变化匹配。然后可以将被用于聚光照明模式的灰度等级广义化至原始图像。在优选实施例中,聚光照明模式提供了用于允许用户命令来自所显示图像的所选聚光照明区的重新成像的容易机制。此类重新成像可以允许使用更好地拟合聚光照明区的成像参数选择。

    用于利用探针扫描样品的扫描方法

    公开(公告)号:CN103063881B

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201210396453.1

    申请日:2012-10-18

    Applicant: FEI公司

    Abstract: 本发明涉及用于利用探针扫描样品的扫描方法。本方法涉及一种扫描样品的方法。扫描样品典型地通过利用探针沿大量的平行线扫描样品来进行。在现有技术的扫描方法中,利用标称相同的扫描图案对样品进行多次扫描。本发明基于如下思想:沿扫描方向的方向上的相邻点之间的相干性比与扫描方向垂直的相邻点的相干性好得多。通过组合彼此垂直地扫描的两个图像,因此应当可能形成利用两个方向上的改进的相干性(由于较短的时间距离)的图像。该方法因此牵涉利用两个扫描图案扫描样品,一个扫描图案的线优选地与其他扫描图案的线垂直。从而可能使用一个扫描图案的线上的扫描点的时间相干性来对准其他扫描图案的线,反之亦然。

    具有气压修正的带电粒子显微镜

    公开(公告)号:CN105590822A

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201510768953.7

    申请日:2015-11-12

    Applicant: FEI公司

    Abstract: 本发明涉及具有气压修正的带电粒子显微镜。一种使用带电粒子显微镜的方法,包括以下步骤:在样品保持器上提供样品;引导来自源的带电粒子的射束通过照明器从而照射样品;使用检测器来检测响应于所述照射而从样品发出的辐射通量,特别地包括以下步骤:为显微镜提供气压传感器;从所述气压传感器为自动控制器提供压强测量信号;调用所述控制器以使用所述信号作为到控制程序的输入,以基于所述信号来补偿所述射束和所述样品保持器的相对位置误差。

    用于数字显微术的图像增强聚光照明模式

    公开(公告)号:CN103295189A

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN201310035298.5

    申请日:2013-01-30

    Applicant: FEI公司

    Abstract: 本发明涉及用于数字显微术的图像增强聚光照明模式。一种允许数字显微原始图像的观察者操纵显示器和/或显微镜以获得原始图像内的感兴趣区的增强视图的装置。在一个优选实施例中,聚光照明模式使用于聚光照明感兴趣区的灰度等级与存在于聚光照明区中的像素强度变化匹配。然后可以将被用于聚光照明模式的灰度等级广义化至原始图像。在优选实施例中,聚光照明模式提供了用于允许用户命令来自所显示图像的所选聚光照明区的重新成像的容易机制。此类重新成像可以允许使用更好地拟合聚光照明区的成像参数选择。

    用于利用探针扫描样品的扫描方法

    公开(公告)号:CN103063881A

    公开(公告)日:2013-04-24

    申请号:CN201210396453.1

    申请日:2012-10-18

    Applicant: FEI公司

    Abstract: 本发明涉及用于利用探针扫描样品的扫描方法。本方法涉及一种扫描样品的方法。扫描样品典型地通过利用探针沿大量的平行线扫描样品来进行。在现有技术的扫描方法中,利用标称相同的扫描图案对样品进行多次扫描。本发明基于如下思想:沿扫描方向的方向上的相邻点之间的相干性比与扫描方向垂直的相邻点的相干性好得多。通过组合彼此垂直地扫描的两个图像,因此应当可能形成利用两个方向上的改进的相干性(由于较短的时间距离)的图像。该方法因此牵涉利用两个扫描图案扫描样品,一个扫描图案的线优选地与其他扫描图案的线垂直。从而可能使用一个扫描图案的线上的扫描点的时间相干性来对准其他扫描图案的线,反之亦然。

    用于操纵显微试样的方法和设备

    公开(公告)号:CN1585091A

    公开(公告)日:2005-02-23

    申请号:CN200410049044.X

    申请日:2004-06-11

    Applicant: FEI公司

    Inventor: H·G·塔佩尔

    CPC classification number: G01N1/32 H01J2237/20 H01J2237/28

    Abstract: 在半导体工业中,显微试样从基底中被切出以用于分析。就已知方法而言,要从基底上切下的试样与连接至操纵器的试样载体相连接,且试样从基底上被切下。随后,该试样被固定在TEM栅格上,并完全与试样载体分离开。根据本发明,试样载体(3)与试样(1)相连接,而试样载体(3)与操纵器(4)分离开。通过使与试样(1)相连接的试样载体(3)远大于(显微)试样(1),并通过操纵试样载体(3),使得连接至其上的显微试样的操纵——借助(宏观)操纵器——变得比操纵没有连接试样载体的试样(1)更加容易。此外,还示出了在操纵器(4)和试样载体(3)之间的具有较高自动化程度的机械连接。

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