公开(公告)号：CN113169013B

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN201980063653.5

申请日：2019-09-30

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  G.德尔曼 ,  G.朔伊纳特

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 一种用于操作多射束粒子束显微镜的方法和多射束粒子束系统，该方法包括使多个粒子束在物体上扫描；将从这些粒子束在该物体处的撞击位置发出的电子束引导到电子转换器上；在第一时间段期间，通过第一检测系统的多个检测元件来检测由该电子转换器中的撞击电子所产生的第一信号；在第二时间段期间，通过第二检测系统的多个检测元件来检测由该电子转换器中的撞击电子所产生的第二信号；并且尤其是基于在该第二时间段期间通过该第二检测系统的检测元件检测到的检测信号，将在该第一时间段期间通过该第一检测系统的检测元件检测到的信号分配给这些撞击位置。

公开(公告)号：CN113169013A

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN201980063653.5

申请日：2019-09-30

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  G.德尔曼 ,  G.朔伊纳特

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 一种用于操作多射束粒子束显微镜的方法，包括使多个粒子束在物体上扫描；将从这些粒子束在该物体处的撞击位置发出的电子束引导到电子转换器上；在第一时间段期间，通过第一检测系统的多个检测元件来检测由该电子转换器中的撞击电子所产生的第一信号；在第二时间段期间，通过第二检测系统的多个检测元件来检测由该电子转换器中的撞击电子所产生的第二信号；并且尤其是基于在该第二时间段期间通过该第二检测系统的检测元件检测到的检测信号，将在该第一时间段期间通过该第一检测系统的检测元件检测到的信号分配给这些撞击位置。