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公开(公告)号：CN118575250A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202380018419.7
申请日：2023-01-18
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/24 , H01J37/28 , H01J37/244
Abstract: 公开了一种降低漂移灵敏度并延长使用寿命的多束带电粒子成像系统的多束产生单元。通过结合屏蔽构件、冷却构件或改良结构中的至少一者及用于操作主动多孔元件的方法，将X射线辐射和热负荷所引起的漂移降到最低。通过形成例如电压供应单元的主动多孔元件或微电子装置的退火方法进一步提高使用寿命。
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