公开(公告)号：CN117897793A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202280055600.0

申请日：2022-05-25

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： Y·萨罗夫 ,  D·蔡德勒 ,  T·施密德 ,  G·库里杰 ,  M·凯斯特纳 ,  U·比尔 ,  W·辛格

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12

Abstract: 提供一种用于多射束系统的多射束产生单元，其具有用于多个一次带电粒子小射束中的每一者的较大个别聚焦功率。该多射束产生单元包含主动端末多孔板。该端末多孔板可用于较大的聚焦范围，其用于多个一次带电粒子小射束中的每个小射束的个别消像散焦点调节。

公开(公告)号：CN117396998A

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202280038238.6

申请日：2022-05-09

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： M·本克 ,  U·比尔 ,  C·里德塞尔 ,  A·托马 ,  D·蔡德勒

IPC: H01J37/28

Abstract: 本发明揭示一种多束带电粒子系统及设定多束带电粒子系统的工作距离WD的方法。运用该方法，通过从预定校准参数值计算部件的参数值来调整工作距离，同时维持晶圆检查任务的成像性能。即使用具有与多束带电粒子系统光轴平行的固定z位置的晶圆台，该方法允许进行快速晶圆检查任务。

公开(公告)号：CN118575250A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202380018419.7

申请日：2023-01-18

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： A·沃茨 ,  C·里德泽尔 ,  R·伦克 ,  Y·萨罗夫 ,  U·比尔 ,  M·克普 ,  M·凯斯特纳 ,  G·库利吉 ,  D·舒马赫

IPC: H01J37/24 ,  H01J37/28 ,  H01J37/244

Abstract: 公开了一种降低漂移灵敏度并延长使用寿命的多束带电粒子成像系统的多束产生单元。通过结合屏蔽构件、冷却构件或改良结构中的至少一者及用于操作主动多孔元件的方法，将X射线辐射和热负荷所引起的漂移降到最低。通过形成例如电压供应单元的主动多孔元件或微电子装置的退火方法进一步提高使用寿命。