公开(公告)号：CN107003616B

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN201580064789.X

申请日：2015-04-28

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： S.里克特 ,  E.盖斯勒 ,  D.多林 ,  S.K.拉克什马南 ,  G.鲁道夫 ,  M.沃尔克 ,  M.德冈瑟

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明关于一种写入至基板晶片(300)的光刻设备(100)，其包含：光产生装置(110)，包含产生光的一个或多个光源(111、112、113)；光传递装置(120)，包含将来自光产生装置(110)的光传递至写入装置(140)的多个光波导(121i‑121N)；写入装置(140)，包含多个单独可控的写入头(200i，j)，用于将来自一个或多个光源(111、112、113)的光投射在基板晶片(300)的不同区域；传输装置(150)，在预定传输方向(x)上相对写入装置(140)移动基板晶片(300)；以及控制装置(170)，控制在基板晶片(300)上的写入程序。

公开(公告)号：CN107003616A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580064789.X

申请日：2015-04-28

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： S.里克特 ,  E.盖斯勒 ,  D.多林 ,  S.K.拉克什马南 ,  G.鲁道夫 ,  M.沃尔克 ,  M.德冈瑟

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70383 ,  B23K26/0604 ,  G02B6/4206 ,  G02B26/123 ,  G03F7/70791 ,  G03F7/7085

Abstract: 本发明关于一种写入至基板晶片(300)的光刻设备(100)，其包含：光产生装置(110)，包含产生光的一个或多个光源(111、112、113)；光传递装置(120)，包含将来自光产生装置(110)的光传递至写入装置(140)的多个光波导(121i‑121N)；写入装置(140)，包含多个单独可控的写入头(200i，j)，用于将来自一个或多个光源(111、112、113)的光投射在基板晶片(300)的不同区域；传输装置(150)，在预定传输方向(x)上相对写入装置(140)移动基板晶片(300)；以及控制装置(170)，控制在基板晶片(300)上的写入程序。