公开(公告)号：CN102549461A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201080043764.9

申请日：2010-09-27

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： D.菲奥尔卡 ,  R.施图茨尔

IPC: G02B5/30 ,  G21K1/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70233 ,  G02B27/0905 ,  G02B27/0977 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/70175 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70566 ,  G21K1/06 ,  G21K1/16 ,  G21K2201/06 ,  G21K2201/064 ,  G21K2201/067

Abstract: 一种包括反射镜聚光器的照明光学单元，在该照明光学单元工作期间，该反射镜聚光器产生施加到第一分面光学元件的偏振分布，其中存在至少两个施加了具有不同偏振的辐射的第一分面元件，并且第一分面光学元件具有至少一个第一状态，在第一状态中，选择第一分面元件的反射表面的法向矢量，使得在该照明光学单元工作期间，在物场的位置处产生第一预定偏振分布。