公开(公告)号：CN110337613B

公开(公告)日：2022-08-16

申请号：CN201780087378.1

申请日：2017-12-20

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： R.兹韦林 ,  S.弗里茨谢 ,  H.瓦格纳 ,  F.阿勒斯 ,  J.普罗希瑙 ,  M.埃拉思 ,  V.库利茨基 ,  M.内夫齐

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明关于光学配置，例如光刻系统，其包含：第一部件(19)，特别是承载框；第二部件(13)，其可相对第一部件(19)移动，特别是反射镜；以及至少一个止挡件(20)，其具有至少一个止挡面(20a、20b)用于限制第二部件(13)相对第一部件(19)的移动。在本发明一个方面中，光学配置(较佳为止挡件(20))具有用于固定第二部件(13)的固定装置(23)，其至少包含可相对止挡件(20)的止挡面(21a、21b)移动的固定元件(24)。本发明的其他方面同样关于具有固定装置或具有输送锁定件的光学配置。

公开(公告)号：CN110337613A

公开(公告)日：2019-10-15

申请号：CN201780087378.1

申请日：2017-12-20

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： R.兹韦林 ,  S.弗里茨谢 ,  H.瓦格纳 ,  F.阿勒斯 ,  J.普罗希瑙 ,  M.埃拉思 ,  V.库利茨基 ,  M.内夫齐

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明关于光学配置，例如光刻系统，其包含：第一部件(19)，特别是承载框；第二部件(13)，其可相对第一部件(19)移动，特别是反射镜；以及至少一个止挡件(20)，其具有至少一个止挡面(20a、20b)用于限制第二部件(13)相对第一部件(19)的移动。在本发明一个方面中，光学配置(较佳为止挡件(20))具有用于固定第二部件(13)的固定装置(23)，其至少包含可相对止挡件(20)的止挡面(21a、21b)移动的固定元件(24)。本发明的其他方面同样关于具有固定装置或具有输送锁定件的光学配置。