公开(公告)号：CN205428873U

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201490000733.9

申请日：2014-03-20

Applicant: 印可得株式会社

Inventor： 郑光春 ,  柳志勋 ,  成俊基 ,  韩孝珍

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02

CPC classification number: H05K3/1258 ,  B44B9/00 ,  G03F7/0002 ,  H05K3/0085 ,  H05K3/107 ,  H05K3/26 ,  H05K2203/0292 ,  H05K2203/0776

Abstract: 本实用新型涉及一种微细图案形成系统，本实用新型的微细图案形成系统，包括：输送部，连续输送形成有阴刻图案的衬底；和填充部，在与所述衬底接触的状态下向所述衬底供给填料，并且以垂直于所述衬底的虚拟的转轴为中心进行旋转，从而将所述填料填充到所述阴刻图案内。

公开(公告)号：CN205666228U

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201490000734.3

申请日：2014-03-20

Applicant: 印可得株式会社

Inventor： 郑光春 ,  柳志勋 ,  成俊基 ,  韩孝珍

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02

CPC classification number: B05C11/025 ,  B05D1/26 ,  B05D1/40 ,  B05D2252/02

Abstract: 本实用新型涉及一种微细图案形成系统，本实用新型的微细图案形成系统包括：输送部，连续输送形成有阴刻图案的衬底；供给部，向所述衬底供给填料；和旋转填充部，沿所述衬底的输送方向设置在所述供给部的后方，在与所述衬底接触的状态下进行旋转，从而将所供给的填料填充到所述阴刻图案内。