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公开(公告)号：CN114286935A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202080060549.3
申请日：2020-08-31
Applicant: 哈恩-席卡德应用研究学会
Inventor： 阿尔方斯·德厄 , 阿希姆·比特纳 , 伦尼·卡斯特利亚诺斯 , 苏菲·比拉特 , 弗兰克·黑德里希
Abstract: 在第一方面中，本发明涉及一种光声气体传感器，其包括可填充气体的检测腔室和基准腔室，其中检测腔室和基准腔室是侧向上并排布置的并且通过传感器通道相连。存在于传感器通道上或者内的传感器允许测量光声信号。两个腔室都优选地位于垂直于同样包括在内的红外发射器所发射的红外辐射的平面内。除此之外，气体传感器由多层衬底形成。在其它方面中，本发明还涉及一种用于气体传感器的制造方法和一种用于通过气体传感器分析气体的方法。
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公开(公告)号：CN115280797B
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202180016496.X
申请日：2021-01-15
Applicant: 哈恩-席卡德应用研究学会
Inventor： 阿尔方斯·德厄 , 阿希姆·比特纳 , 伦尼·卡斯特利亚诺斯
Abstract: 本发明涉及一种MEMS换能器，其包括用于产生或拾取流体中的在竖直方向上的压力波的可振动膜(1)，其中可振动膜(1)由承载件(4)支撑并且可振动膜(1)具有两个或更多个竖直部分(2)，这些竖直部分平行于竖直方向形成并且包括至少一个致动器材料的层(11)。可振动膜(1)的端部与电极(13)接触，这意味着至少一个电极(13)的致动允许激励两个或更多个竖直部分(2)产生水平振动，或者意味着激励两个或更多个竖直部分(2)产生水平振动使得能够在至少一个电极处(13)产生电信号。
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公开(公告)号：CN115280797A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202180016496.X
申请日：2021-01-15
Applicant: 哈恩-席卡德应用研究学会
Inventor： 阿尔方斯·德厄 , 阿希姆·比特纳 , 伦尼·卡斯特利亚诺斯
Abstract: 本发明涉及一种MEMS换能器，其包括用于产生或拾取流体中的在竖直方向上的压力波的可振动膜(1)，其中可振动膜(1)由承载件(4)支撑并且可振动膜(1)具有两个或更多个竖直部分(2)，这些竖直部分平行于竖直方向形成并且包括至少一个致动器材料的层(11)。可振动膜(1)的端部与电极(13)接触，这意味着至少一个电极(13)的致动允许激励两个或更多个竖直部分(2)产生水平振动，或者意味着激励两个或更多个竖直部分(2)产生水平振动使得能够在至少一个电极处(13)产生电信号。
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