通过光阑结构对可移动IR发射器的调制

    公开(公告)号:CN112739998B

    公开(公告)日:2024-06-28

    申请号:CN201980059762.X

    申请日:2019-09-13

    Abstract: 本发明涉及一种可以被调制的红外发射器,该红外发射器包括光阑结构、结构化微加热元件以及致动器,其中,光阑结构和结构化微加热元件可以使用致动器在平行平面上相对于彼此移动,以调制被发射的红外辐射的强度。本发明额外地涉及生产红外发射器的方法、涉及使用红外发射器对红外辐射的发射进行调制的方法以及涉及红外发射器的优选应用。本发明还优选地涉及一种系统,该系统包括红外发射器和用于调节致动器的控制器。

    具有结构化承载件的应变测量结构

    公开(公告)号:CN112888912B

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN201980069563.7

    申请日:2019-10-24

    Abstract: 本发明涉及应变测量结构,其包括承载件,该承载件仅在接合到待测物体之后才沿着预定断裂点划分成多个部位。在沿着预定断裂点分开之后,在物体发生应变的情况下,在接合区中单独接合的部位可以相对于彼此自由移动,而应变测量结构不会对待测量物体施加明显的力,这可能会使应变测量失真。用于测量应变的测量组件位于部位之间。取决于应用,所述测量组件可以基于不同的原理。本发明还涉及用于生产应变测量结构的方法、用于测量物体的应变的方法以及该结构在测量应变中的用途。本发明还优选地涉及一种系统,该系统包括应变测量结构和用于读出并且优选地激活并接合该结构的控制装置。

    具有作为声音检测器的振动结构的光声光谱仪

    公开(公告)号:CN113454449A

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN202080015988.2

    申请日:2020-02-26

    Abstract: 本发明在第一方面涉及一种用于对气体进行分析的光声光谱仪,该光声光谱仪包括可调制的红外发射器(3)、能够被填充有气体的分析容积部(1)、以及声压检测器。声压检测器包括能够振动的结构(5)、致动器和测量单元,其中致动器被配置成主动激励能够振动的结构(5)的振动,并且测量单元能够测量能够振动的结构(5)的振动特性,振动特性的测量取决于声压波的形成。在另一方面,本发明涉及一种用于对气体进行分析的方法,该方法包括提供用于对气体进行分析的光声光谱仪,利用由调制频率进行调制的红外辐射来照射气体以产生声压波,以激励频率激励能够振动的结构(5),测量能够振动的结构(5)的振动特性,振动特性的测量取决于声压,以及基于所测量的振动特性来确定气体的声压。

    具有改进的性能的MEMS换能器

    公开(公告)号:CN115280797B

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202180016496.X

    申请日:2021-01-15

    Abstract: 本发明涉及一种MEMS换能器,其包括用于产生或拾取流体中的在竖直方向上的压力波的可振动膜(1),其中可振动膜(1)由承载件(4)支撑并且可振动膜(1)具有两个或更多个竖直部分(2),这些竖直部分平行于竖直方向形成并且包括至少一个致动器材料的层(11)。可振动膜(1)的端部与电极(13)接触,这意味着至少一个电极(13)的致动允许激励两个或更多个竖直部分(2)产生水平振动,或者意味着激励两个或更多个竖直部分(2)产生水平振动使得能够在至少一个电极处(13)产生电信号。

    用于自动化系统的免疫测定

    公开(公告)号:CN112074739B

    公开(公告)日:2025-05-09

    申请号:CN201980029333.8

    申请日:2019-04-29

    Abstract: 本发明涉及用于检测样品中的靶分子的方法,包括以下顺序步骤:(a.)在反应孔中的缓冲溶液中同时温育(i.)怀疑含有一种或多种靶分子的样品、(ii.)适于与靶分子结合的固相偶联的捕获分子,其中捕获分子与珠子(捕获珠子)偶联、(iii.)限定量的适于与靶分子和/或捕获分子结合的检测分子,其中检测分子与珠子(检测珠子)偶联,其中捕获珠子与检测珠子是可分离的,(b.)在反应孔中分离捕获珠子与包含未结合的检测珠子的缓冲溶液,和(c.)检测已与捕获珠子分离的缓冲溶液中剩余的未结合的检测珠子,其中该方法不包括洗涤步骤。

    自固化混凝土作为用于微系统的新材料

    公开(公告)号:CN119768361A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202380061502.2

    申请日:2023-08-22

    Abstract: 本发明涉及一种半导体组件,该半导体组件包括MEMS元件和/或电子电路,其中,该MEMS元件和/或电子电路形成在基部基板上或者形成在基部基板内。该半导体组件的特征在于,该半导体组件包括混凝土材料。因此,半导体组件的一个或更多个组成部分可以包含混凝土材料,诸如,基部基板、绝缘层和/或保护外壳可以包含混凝土材料。本发明还涉及一种用于制造该半导体组件的方法。

    竖向MEMS换能器膜的电枢结构上的凹凸部或弱化区域

    公开(公告)号:CN118923132A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202380023239.8

    申请日:2023-02-27

    Abstract: 本发明的一方面涉及一种MEMS换能器,该MEMS换能器包括可振动膜,所述可振动膜用于在竖向发射方向上生成压力波或者接收压力波。可振动膜由承载件保持并且具有竖向部段,这些竖向部段形成为与发射方向或接收方向基本上平行并且包括由致动器材料制成的至少一个层。优选地,可振动膜在端部面处与电极接触,使得通过控制所述电极,在竖向部段中可以被致使以进行水平振动,或者使得当在竖向部段中进行水平振动时,可以在电极上生成电信号。竖向部段和/或水平部段具有一个或更多个凹凸部和/或弱化区域。本发明的另一方面涉及一种用于制造根据本发明的MEMS换能器的方法。

    用于阻尼MEMS麦克风的内插器
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117501709A

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202280042631.2

    申请日:2022-06-17

    Abstract: 在第一方面,本发明涉及一种系统(1),所述系统(1)包括MEMS麦克风(3),该MEMS麦克风(3)包括声音入口开口(5)、可振动麦克风膜(7)和电子电路(9),其中,当麦克风膜(7)被通过声音入口开口(5)进入的声波激励时,由麦克风膜(7)的振动生成依赖于声波的电信号。在声音入口开口(5)的上游安装有用于降低作用在麦克风膜(7)上的声波的声压级的阻尼元件(11),其中,阻尼元件(11)包括弹性且振动的阻尼膜(11),并且其中,所述声波除了引起麦克风膜(7)的振动之外还引起阻尼元件(11)的振动,使得声波的声能在阻尼膜(11)和麦克风膜(7)之间进行分配。这特别地使得可以在不失真的情况下将MEMS麦克风(3)的测量范围扩展到高声压级。

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