公开(公告)号：CN1172746C

公开(公告)日：2004-10-27

申请号：CN00813524.X

申请日：2000-10-05

Applicant: 哈恩-席卡德应用研究学会

Inventor： 史蒂芬·贝克斯 ,  霍尔格·格鲁勒 ,  罗兰德·赞格勒

IPC: B01L3/00 ,  G01N21/25

CPC classification number: B01L3/5085 ,  B01J19/0046 ,  B01J2219/0065 ,  B01J2219/00659 ,  B01J2219/00693 ,  G01N21/253

Abstract: 本发明涉及一种用于控制沉积在基板(2)上的微滴(4)质量的装置，该装置包括一用于照明基板(2)的光源(10)，微滴(4)沉积在该基板上。设置一图像产生装置(12)，以便接收从光源(10)发出并且通过基板(2)或者被所述基板反射的光，并产生图像。本发明还包括一种用于分析所产生的图像的装置，根据作为在基板(2)上沉积微滴(4)所产生的折射效果而在所述图像中产生的图案进行分析。

公开(公告)号：CN1377301A

公开(公告)日：2002-10-30

申请号：CN00813524.X

申请日：2000-10-05

Applicant: 哈恩-席卡德应用研究学会

Inventor： 史蒂芬·贝克斯 ,  霍尔格·格鲁勒 ,  罗兰德·赞格勒

IPC: B01L3/00 ,  G01N21/25

CPC classification number: B01L3/5085 ,  B01J19/0046 ,  B01J2219/0065 ,  B01J2219/00659 ,  B01J2219/00693 ,  G01N21/253

Abstract: 本发明涉及一种用于控制沉积在基板(2)上的微滴(4)质量的装置,该装置包括一用于照明基板(2)的光源(10),微滴(4)沉积在该基板上。设置一图像产生装置(12),以便接收从光源(10)发出并且通过基板(2)或者被所述基板反射的光,并产生图像。本发明还包括一种用于分析所产生的图像的装置,根据作为在基板(2)上沉积微滴(4)所产生的折射效果而在所述图像中产生的图案进行分析。