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公开(公告)号：CN105084304A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510251130.7
申请日：2015-05-18
Applicant: 因文森斯公司
CPC classification number: B81C1/00626 , B81C1/00825 , B81C2201/0169
Abstract: 在此披露了一种用于形成MEMS器件的致动器层的方法。该方法包括对致动器层进行蚀刻并且在蚀刻之后对致动器层进行退火处理以减少MEMS器件的表面粗糙度。
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