公开(公告)号：CN1696652A

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：CN200510078348.3

申请日：2005-02-23

Applicant: 塞威公司

Inventor： 克里斯托弗·鲍尔 ,  罗伯特·J.·弗勒瑞恩 ,  亚当·哈特曼 ,  飞利浦·C.·福斯特 ,  杰伊·C.·纳尔逊 ,  理查德·E.·斯托卡普二世

IPC: G01N13/10 ,  H01J37/00

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01R31/307 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2594 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/31745

Abstract: 连通到带电粒子束装置(CPBD)的隔室上的定位器控制装置，其设定成使探针和隔室中的样品上的接触点。接触连通到CPBD的测量器和定位器可以支持样品性质的测量/检测。一种控制线路可以至少部分自动控制CPBD，定位器，以及测量器。一个或多个如此的部件支持的方法包括：把第一信号导向定位于隔室内的探针，在那至少一个探针被暴露于CPBD的光束中；把第二信号和第一信号作对比来决定样品性质；和加热至少一个邻近定位的探针尖，以至于随着加热除去部分材料，探针尖变得尖锐。