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公开(公告)号：CN102439691A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201080020805.2
申请日：2010-05-07
Applicant: 塞拉维申有限公司
IPC: H01J65/04
CPC classification number: H01J65/044 , Y02B20/22
Abstract: 为了在2450MHz下操作在TM010模式中，透明石英坩埚的直径为4.9cm，长度为2.1cm。密封的等离子体中空位于中心轴上，天线凹入型件位于中心轴的一端，但是偏离于坩埚的中心轴并靠近中心的中空。各种TE模式也是可以的。
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公开(公告)号：CN104395984B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201380030440.5
申请日：2013-05-03
Applicant: 塞拉维申有限公司
CPC classification number: H01J9/395 , H01J9/40 , H01J65/044
Abstract: 等离子体坩埚(92)具有通孔(93)和对接密封至坩埚的端面(901，902)上的两个管(981，982)。一个管(981)在填充坩埚之前封闭。所述管被制造端头并且在玻璃车床上加工以使其形成有平面端部(983)。在排空、投放和充气之后，端部(983)被加热以驱除配料中的杂质，其活性组分凝结在孔(93)内。然后，以类似的方式制造另一管(902)的端头。
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公开(公告)号：CN103918056A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201280044901.X
申请日：2012-09-19
Applicant: 塞拉维申有限公司
IPC: H01J65/04
CPC classification number: H01J65/044
Abstract: 本申请涉及一种用于透明波导等离子体光源（LUWPL）的坩埚的制造中的中间产品，其包括具有孔的透明材料的波导，以及所述孔中提供的透明材料的管，其与波导主体的透明材料紧密接触。本申请进一步涉及一种具有相同特征的用于LUWPL的坩埚，以及制造此种坩埚所采用的方法，包括使管膨胀和/或使孔收缩以使它们紧密接触的步骤。在一个实施例中，产生制造用于LUWPL的坩埚的中间产品的操作如下：·a)主体(2)被预热并放置在支撑件上，它的孔与管4同轴，管4被卡盘支撑并连接至膨胀部件；·b)管被加热，其中卡盘被旋转以使得加热均匀；·c)当管的温度被探测到达到管的石英的软化温度时，其旋转停止并使其前进至主体(2)的孔（3）内；·d)当远端的密封端端部被探测到到达一个特定的突出度(18)时，前进停止；·e)在前进停止的同时，允许膨胀气体进入管内，以使其尽管轻微地膨胀，但是使它的外表面(5)与孔(4)的表面(6)紧密接触，该膨胀还使管直接在孔的外部膨胀，以进一步确保管在孔内的管的固定。
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公开(公告)号：CN104956460A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201380060069.7
申请日：2013-09-19
Applicant: 塞拉维申有限公司
Inventor： B·普勒斯顿
CPC classification number: H01J65/04 , H01J9/247 , H01J61/30 , H01J65/044
Abstract: 一种用于LUWPL的坩埚1由具有穿过其的中心孔3的波导主体2形成。容纳在中心孔内的是拉制石英管4，其端部被密封，一个端部41被加工成平的以与主体的一个面21共面。另一端部42具有残余尖端43。管在主体的另一面23中在孔的孔口22处被固定至主体。该固定通过陶瓷粘合化合物5实现。
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公开(公告)号：CN103119690A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201180033156.4
申请日：2011-07-05
Applicant: 塞拉维申有限公司
IPC: H01J65/04
Abstract: 一种透明波导微波等离子体光源（LWMPLS）的透明坩埚以熔融石英的坩埚（1）的形式包括发光谐振器（LER），坩埚（1）具有中央的中空（2），中空（2）的内部具有微波可激发材料（3）。在一个例子中，中空直径为4mm，长度（L）为21mm。LWMPLS以280W的功率（P）操作，由此具有133W/cm的等离子体载荷和106W/cm2的壁载荷。由此，灯以高效能——以流明每瓦特为单位——操作，同时具有合理的寿命。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103384909B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201180068178.4
申请日：2011-12-20
Applicant: 塞拉维申有限公司
IPC: H01J65/04
CPC classification number: H01J65/044
Abstract: 一种透明波导电磁波等离子体光源具有熔融石英片的加工件1和拉制管。内部密封中空包围件2由8mm外径、4mm内径的拉制管形成。电磁波可激发等离子体材料被密封在包围件内。端部板5是圆形的并且包围件2被密封在其中的中心孔中，孔未被标记。类似的板6被定位为在包围件的内端部和自身之间留有小的间隔。两个管与两个板同心，两个板与它们的中心轴成直角延伸。外部管7从内部板6的背面向后延伸作为裙部9。该结构提供：·板之间的环形腔体11，其围绕中空包围件并在外部管内；裙状凹口13。容纳在裙状凹口中的是尺寸被设计为通过滑动配合而适合凹口的氧化铝的直立圆柱块14。具有T形/扣状头部19的天线18被容纳在氧化铝块中的孔15和埋头孔16中。石英加工件1和氧化铝块14被容纳在法拉第罩20中，法拉第罩20在端部板5处延伸跨越加工件并且沿着外部管向后延伸至腔体10的范围。罩具有无孔的裙部22，裙部22比石英裙部9
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公开(公告)号：CN103918056B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201280044901.X
申请日：2012-09-19
Applicant: 塞拉维申有限公司
IPC: H01J65/04
CPC classification number: H01J65/044
Abstract: 本申请涉及一种用于透明波导等离子体光源（LUWPL）的坩埚的制造中的中间产品，其包括具有孔的透明材料的波导，以及所述孔中提供的透明材料的管，其与波导主体的透明材料紧密接触。本申请进一步涉及一种具有相同特征的用于LUWPL的坩埚，以及制造此种坩埚所采用的方法，包括使管膨胀和/或使孔收缩以使它们紧密接触的步骤。在一个实施例中，产生制造用于LUWPL的坩埚的中间产品的操作如下：·a)主体(2)被预热并放置在支撑件上，它的孔与管4同轴，管4被卡盘支撑并连接至膨胀部件；·b)管被加热，其中卡盘被旋转以使得加热均匀；·c)当管的温度被探测到达到管的石英的软化温度时，其旋转停止并使其前进至主体(2)的孔（3）内；·d)当远端的密封端端部被探测到到达一个特定的突出度(18)时，前进停止；·e)在前进停止的同时，允许膨胀气体进入管内，以使其尽管轻微地膨胀，但是使它的外表面(5)与孔(4)的表面(6)紧密接触，该膨胀还使管直接在孔的外部膨胀，以进一步确保管在孔内的管的固定。
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公开(公告)号：CN102439691B
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201080020805.2
申请日：2010-05-07
Applicant: 塞拉维申有限公司
IPC: H01J65/04
CPC classification number: H01J65/044 , Y02B20/22
Abstract: 为了在2450MHz下操作在TM010模式中，透明石英坩埚的直径为4.9cm，长度为2.1cm。密封的等离子体中空位于中心轴上，天线凹入型件位于中心轴的一端，但是偏离于坩埚的中心轴并靠近中心的中空。各种TE模式也是可以的。
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公开(公告)号：CN103119690B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201180033156.4
申请日：2011-07-05
Applicant: 塞拉维申有限公司
IPC: H01J65/04
Abstract: 一种透明波导微波等离子体光源（LWMPLS）的透明坩埚以熔融石英的坩埚（1）的形式包括发光谐振器（LER），坩埚（1）具有中央的中空（2），中空（2）的内部具有微波可激发材料（3）。在一个例子中，中空直径为4mm，长度（L）为21mm。LWMPLS以280W的功率（P）操作，由此具有133W/cm的等离子体载荷和106W/cm2的壁载荷。由此，灯以高效能——以流明每瓦特为单位——操作，同时具有合理的寿命。
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公开(公告)号：CN104395984A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380030440.5
申请日：2013-05-03
Applicant: 塞拉维申有限公司
CPC classification number: H01J9/395 , H01J9/40 , H01J65/044
Abstract: 等离子体坩埚(92)具有通孔(93)和对接密封至坩埚的端面(901，902)上的两个管(981，982)。一个管(981)在填充坩埚之前封闭。所述管被制造端头并且在玻璃车床上加工以使其形成有平面端部(983)。在排空、投放和充气之后，端部(983)被加热以驱除配料中的杂质，其活性组分凝结在孔(93)内。然后，以类似的方式制造另一管(902)的端头。
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