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公开(公告)号：CN102884622B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201180024013.7
申请日：2011-05-13
Applicant: 大陆汽车系统公司
Inventor： J-H.A.仇
CPC classification number: H01L24/48 , G01L19/0069 , G01L19/148 , H01L24/45 , H01L24/49 , H01L2224/05553 , H01L2224/05554 , H01L2224/45015 , H01L2224/45124 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48011 , H01L2224/4809 , H01L2224/48091 , H01L2224/48472 , H01L2224/48599 , H01L2224/4911 , H01L2224/49112 , H01L2224/49113 , H01L2224/49171 , H01L2224/49175 , H01L2224/85444 , H01L2224/8592 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01023 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01075 , H01L2924/01079 , H01L2924/14 , H01L2924/15153 , H01L2924/1517 , H01L2924/19105 , H01L2924/20752 , H01L2924/20753 , H01L2924/20754 , H01L2924/20755 , H01L2924/00014 , H01L2924/20652 , H01L2924/20653 , H01L2924/00 , H01L2924/20751 , H01L2924/00015 , H01L2924/2075
Abstract: 被接合在不同高度处的两个接合焊盘上的线的任何两个段都可以在其第二模式振动期间通过静止的节点（或零位移）被区别。为了提升这样的接合线的固有频率以避免在面内振动中以最低的频率发生的第二模式谐振，通过连接两个被均衡的（最短可能的）线段以替换由较大的段和较短的段组成的线，线可以被优化。目的是将任意接合线的具有较低刚度的较长段中的较大振动移动再分配为被优化的线的两个较小的被均衡的段，以减少面内振动，以显著改进线的固有频率和在诸如在30KHz以上之类的苛刻的振动环境中的可靠性。
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公开(公告)号：CN103226047A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310035555.5
申请日：2013-01-30
Applicant: 大陆汽车系统公司
CPC classification number: G01L9/0042 , B81B7/0019 , B81B2201/0264 , B81C2203/032 , G01L9/0054 , G01L19/04
Abstract: 本发明涉及最小化热噪声的半导体传感器件。一种MEMS压力传感器被设计来减少或消除热噪声、诸如温度偏移电压输出。该压力传感器包括具有膜片以及腔的压力传感元件，所述腔被形成为压力传感元件的部分，其中所述腔容纳流体，使得膜片至少部分地偏转。该压力传感元件还包括多个压电电阻器，所述多个压电电阻器在工作中基于膜片中的偏转量来生成信号。至少一个沟槽被整体地形成为压力传感元件的部分，并且胶粘剂把压力传感元件连接到至少一个基板，使得胶粘剂的至少部分被附着到所述沟槽，并且将压力传感元件上的热感应应力重新分配，使得热感应噪声基本上被消除。
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公开(公告)号：CN102884622A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201180024013.7
申请日：2011-05-13
Applicant: 大陆汽车系统公司
Inventor： J-H.A.仇
CPC classification number: H01L24/48 , G01L19/0069 , G01L19/148 , H01L24/45 , H01L24/49 , H01L2224/05553 , H01L2224/05554 , H01L2224/45015 , H01L2224/45124 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48011 , H01L2224/4809 , H01L2224/48091 , H01L2224/48472 , H01L2224/48599 , H01L2224/4911 , H01L2224/49112 , H01L2224/49113 , H01L2224/49171 , H01L2224/49175 , H01L2224/85444 , H01L2224/8592 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01023 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01075 , H01L2924/01079 , H01L2924/14 , H01L2924/15153 , H01L2924/1517 , H01L2924/19105 , H01L2924/20752 , H01L2924/20753 , H01L2924/20754 , H01L2924/20755 , H01L2924/00014 , H01L2924/20652 , H01L2924/20653 , H01L2924/00 , H01L2924/20751 , H01L2924/00015 , H01L2924/2075
Abstract: 被接合在不同高度处的两个接合焊盘上的线的任何两个段都可以在其第二模式振动期间通过静止的节点（或零位移）被区别。为了提升这样的接合线的固有频率以避免在面内振动中以最低的频率发生的第二模式谐振，通过连接两个被均衡的（最短可能的）线段以替换由较大的段和较短的段组成的线，线可以被优化。目的是将任意接合线的具有较低刚度的较长段中的较大振动移动再分配为被优化的线的两个较小的被均衡的段，以减少面内振动，以显著改进线的固有频率和在诸如在30KHz以上之类的苛刻的振动环境中的可靠性。
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