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公开(公告)号：CN104713675B
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201410560619.8
申请日：2014-10-21
Applicant: 大陆汽车系统公司
IPC: G01L9/06
Abstract: 一种具有两个或更多个压力范围的高精度压力传感器由多个微机电系统(MEMS)压力转换器形成，所述压力转换器安装在外壳内部且联接以感测加压流体。MEMS压力转换器的非线性输出由对应的多个处理器(优选DSP)线性化，每个处理器联接到对应的MEMS压力转换器并且从其接收MEMS压力转换器输出信号。每个处理器生成被施加压力输出信号，该信号表示施加到MEMS压力转换器的压力，其为来自MEMS压力转换器的输出信号的线性化和数字化版本。从多个处理器输出的数据在串行数据总线上串行地传输，其中每个处理器输出与不同压力范围有关的压力数据。
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公开(公告)号：CN108700482A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201680082401.3
申请日：2016-09-02
Applicant: 大陆汽车系统公司
Abstract: 使用弹簧式波纹状物或蛇形锯齿状物将微机电系统（MEMS）压力感测元件悬挂在空腔内，这减小了所述感测元件上的热失配机械应力。用凝胶覆盖弹簧式结构和感测元件进一步减小了热失配应力和振动动态应力。
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公开(公告)号：CN104713675A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201410560619.8
申请日：2014-10-21
Applicant: 大陆汽车系统公司
IPC: G01L9/06
CPC classification number: B81B7/008 , B81B2201/0264 , G01L9/0055 , G01L9/06 , G01L9/065 , G01L19/0084 , G01L19/142
Abstract: 一种具有两个或更多个压力范围的高精度压力传感器由多个微机电系统(MEMS)压力转换器形成，所述压力转换器安装在外壳内部且联接以感测加压流体。MEMS压力转换器的非线性输出由对应的多个处理器(优选DSP)线性化，每个处理器联接到对应的MEMS压力转换器并且从其接收MEMS压力转换器输出信号。每个处理器生成被施加压力输出信号，该信号表示施加到MEMS压力转换器的压力，其为来自MEMS压力转换器的输出信号的线性化和数字化版本。从多个处理器输出的数据在串行数据总线上串行地传输，其中每个处理器输出与不同压力范围有关的压力数据。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108700482B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201680082401.3
申请日：2016-09-02
Applicant: 大陆汽车系统公司
Abstract: 使用弹簧式波纹状物或蛇形锯齿状物将微机电系统（MEMS）压力感测元件悬挂在空腔内，这减小了所述感测元件上的热失配机械应力。用凝胶覆盖弹簧式结构和感测元件进一步减小了热失配应力和振动动态应力。
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公开(公告)号：CN106052941B
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201610217262.2
申请日：2016-04-08
Applicant: 大陆汽车系统公司
Abstract: 在微机电系统(MEMS)压力传感器中，通过在MEMS压力感测元件上堆叠专用集成电路(ASIC)并且使用形成在ASIC中的导电过孔连接彼此，替换在现有技术中用于将MEMS压力感测元件连接到ASIC以用于在这两个芯片之间的输入和输出信号的细的并且容易坏的接合线。如果不再使用接合线，则能够消除用于保护接合线、ASIC和MEMS压力感测元件的凝胶。在MEMS压力感测元件上堆叠ASIC并且使用导电过孔连接它们实现放置并且保护该装置的壳体的尺寸和成本的减小。
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公开(公告)号：CN106092429B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201610215271.8
申请日：2016-04-08
Applicant: 大陆汽车系统公司
Abstract: 通过接合垫、导电过孔和互连件的对称分布以及通过消除在现有技术中用于将MEMS压力感测元件连接到专用集成电路(ASIC)的接合线，减少了微机电系统(MEMS)压力传感器中的电噪声和机械噪声。通过使用导电过孔将ASIC连接到MEMS压力感测元件，消除接合线。通过包围输出信号接合垫的导电环以及包围导电环和接合垫的导电环路，抑制无关电噪声。导电环和导电环路连接到固定电压或地电势。
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公开(公告)号：CN106092429A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610215271.8
申请日：2016-04-08
Applicant: 大陆汽车系统公司
Abstract: 通过接合垫、导电过孔和互连件的对称分布以及通过消除在现有技术中用于将MEMS压力感测元件连接到专用集成电路(ASIC)的接合线，减少了微机电系统(MEMS)压力传感器中的电噪声和机械噪声。通过使用导电过孔将ASIC连接到MEMS压力感测元件，消除接合线。通过包围输出信号接合垫的导电环以及包围导电环和接合垫的导电环路，抑制无关电噪声。导电环和导电环路连接到固定电压或地电势。
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公开(公告)号：CN106052941A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610217262.2
申请日：2016-04-08
Applicant: 大陆汽车系统公司
Abstract: 在微机电系统(MEMS)压力传感器中，通过在MEMS压力感测元件上堆叠专用集成电路(ASIC)并且使用形成在ASIC中的导电过孔连接彼此，替换在现有技术中用于将MEMS压力感测元件连接到ASIC以用于在这两个芯片之间的输入和输出信号的细的并且容易坏的接合线。如果不再使用接合线，则能够消除用于保护接合线、ASIC和MEMS压力感测元件的凝胶。在MEMS压力感测元件上堆叠ASIC并且使用导电过孔连接它们实现放置并且保护该装置的壳体的尺寸和成本的减小。
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