公开(公告)号：CN106062244A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201480076925.2

申请日：2014-12-25

Applicant: 宇部兴产株式会社

Inventor： 白井昌志 ,  长谷川千寻 ,  竹林浩二 ,  吉富晋

IPC: C23C16/448 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/4481

Abstract: 本发明提供一种能够长时间稳定地供给含有机金属化合物的气体的有机金属化合物的供给装置。含有机金属化合物的气体的供给装置(1)具备容器(10)、供给部(13)和高比重物。容器(10)具有内部空间(10a)、载气的导入口(10b)和排出口(10c)。导入口(10b)连接于内部空间(10a)的下部。排出口(10c)连接于内部空间(10a)的上部。供给部(13)位于内部空间(10a)。供给部(13)中配置有含有机金属化合物的颗粒与填充材料的混合物。高比重物在内部空间(10a)中配置于供给部(13)之上。高比重物的比重比含有机金属化合物的颗粒的比重高。

公开(公告)号：CN103350905A

公开(公告)日：2013-10-16

申请号：CN201310238291.3

申请日：2007-05-30

Applicant: 宇部兴产株式会社

Inventor： 野口英贵 ,  石地浩二 ,  平塚彻 ,  药师神启孝 ,  松重健二 ,  吉富晋

IPC: B65G53/22

CPC classification number: C23C16/4481 ,  B65G53/16

Abstract: 本发明公开了一种供给装置，所述供给装置具有两个柱状容器(1，1′)以及连通管(5)，所述连通管(5)用于将所述容器(1，1′)的内部在下端相互连接。所述容器(1，1′)填充有在室温下为固态的有机金属化合物。所述容器(1)的上部配备有用于将载气引入到容器(1)中的气体进料管(2)。所述容器(1′)的上部配备有用于排出含有所述有机金属化合物的所述载气的气体排出管(3)。

公开(公告)号：CN101472815A

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：CN200780022492.2

申请日：2007-05-30

Applicant: 宇部兴产株式会社

Inventor： 野口英贵 ,  石地浩二 ,  平塚彻 ,  药师神启孝 ,  松重健二 ,  吉富晋

IPC: B65G53/22 ,  H01L21/205 ,  B01J4/00 ,  C23C16/448

Abstract: 本发明公开了一种供给装置，所述供给装置具有两个柱状容器(1，1′)以及连通管(5)，所述连通管(5)用于将所述容器(1，1′)的内部在下端相互连接。所述容器(1，1′)填充有在室温下为固态的有机金属化合物。所述容器(1)的上部配备有用于将载气引入到容器(1)中的气体进料管(2)。所述容器(1′)的上部配备有用于排出含有所述有机金属化合物的所述载气的气体排出管(3)。