公开(公告)号：CN103350905A

公开(公告)日：2013-10-16

申请号：CN201310238291.3

申请日：2007-05-30

Applicant: 宇部兴产株式会社

Inventor： 野口英贵 ,  石地浩二 ,  平塚彻 ,  药师神启孝 ,  松重健二 ,  吉富晋

IPC: B65G53/22

CPC classification number: C23C16/4481 ,  B65G53/16

Abstract: 本发明公开了一种供给装置，所述供给装置具有两个柱状容器(1，1′)以及连通管(5)，所述连通管(5)用于将所述容器(1，1′)的内部在下端相互连接。所述容器(1，1′)填充有在室温下为固态的有机金属化合物。所述容器(1)的上部配备有用于将载气引入到容器(1)中的气体进料管(2)。所述容器(1′)的上部配备有用于排出含有所述有机金属化合物的所述载气的气体排出管(3)。

公开(公告)号：CN101472815A

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：CN200780022492.2

申请日：2007-05-30

Applicant: 宇部兴产株式会社

Inventor： 野口英贵 ,  石地浩二 ,  平塚彻 ,  药师神启孝 ,  松重健二 ,  吉富晋

IPC: B65G53/22 ,  H01L21/205 ,  B01J4/00 ,  C23C16/448

Abstract: 本发明公开了一种供给装置，所述供给装置具有两个柱状容器(1，1′)以及连通管(5)，所述连通管(5)用于将所述容器(1，1′)的内部在下端相互连接。所述容器(1，1′)填充有在室温下为固态的有机金属化合物。所述容器(1)的上部配备有用于将载气引入到容器(1)中的气体进料管(2)。所述容器(1′)的上部配备有用于排出含有所述有机金属化合物的所述载气的气体排出管(3)。