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公开(公告)号:CN102127736A
公开(公告)日:2011-07-20
申请号:CN201110006528.6
申请日:2011-01-13
Applicant: 宇部材料工业株式会社
Abstract: 本发明涉及金属氧化物多晶体。提供金属氧化物多晶体,其吸湿性低、且可有利地用作用于通过电子束蒸镀法等物理气相生长法在稳定的条件下制造含有锶和钙的氧化物膜的蒸镀材料。该金属氧化物多晶体是由以摩尔比计为0.2∶0.8~0.8∶0.2的范围的比例含有锶和钙的结晶粒子形成的金属氧化物多晶体,其中,在将锶和钙的总摩尔量设为100摩尔时,以0.0005~20摩尔的范围的量含有选自由硅、铝、钛、锆和稀土类元素构成的组中的一种以上的金属元素,并且平均孔径在0.01~0.50μm的范围。
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公开(公告)号:CN100582288C
公开(公告)日:2010-01-20
申请号:CN200410095149.9
申请日:2004-10-21
Applicant: 宇部材料工业株式会社
Abstract: 本发明提供可以有效地用于通过电子束蒸镀法,形成作为交流型等离子显示板的电介质层保护膜有用的氧化镁膜的氧化镁蒸镀材料。它是含有0.01~6摩尔%范围的金属元素化合价为3价、4价或5价的任意一种的金属氧化物的氧化镁蒸镀材料。而且是含有氧化镁以外的碱土金属氧化物和金属元素化合价为3价、4价或5价的任意一种的金属氧化物的氧化镁蒸镀材料,换算成金属元素量分别为0.005摩尔%以上,并且换算成金属元素量,该总量为6摩尔%以下。
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公开(公告)号:CN1609262A
公开(公告)日:2005-04-27
申请号:CN200410095149.9
申请日:2004-10-21
Applicant: 宇部材料工业株式会社
Abstract: 本发明提供可以有效地用于通过电子束蒸镀法,形成作为交流型等离子显示板的电介质层保护膜有用的氧化镁膜的氧化镁蒸镀材料。它是含有0.01~6摩尔%范围的金属元素化合价为3价、4价或5价的任意一种的金属氧化物的氧化镁蒸镀材料。而且是含有氧化镁以外的碱土金属氧化物和金属元素化合价为3价、4价或5价的任意一种的金属氧化物的氧化镁蒸镀材料,换算成金属元素量分别为0.005摩尔%以上,并且换算成金属元素量,该总量为6摩尔%以下。
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公开(公告)号:CN102159502A
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN200980136052.9
申请日:2009-07-15
Applicant: 宇部材料工业株式会社
CPC classification number: C23C14/082 , C01F11/06 , C01P2004/61 , C01P2006/16 , H01J9/02
Abstract: 由通式以Sr1-xCaxO(其中,x为0.2~0.8的范围的值)表示的平均结晶粒径在1.0~90μm的范围的锶钙复合氧化物结晶粒子的多晶体形成的,平均细孔直径在0.01~0.50μm的范围的用于锶钙复合氧化物膜制备的蒸镀材料。本发明的蒸镀材料,其自身对水蒸气、二氧化碳气体的吸附性或与它们的反应性低,因而没有必要特别用被覆材料被覆表面。
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