公开(公告)号：CN101634010B

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN200910166952.X

申请日：2009-06-12

Applicant: 宇部材料工业株式会社

Inventor： 植木明 ,  增田彰 ,  高崎薰 ,  財田真人

IPC: C23C14/08 ,  C30B29/16 ,  C04B35/04

Abstract: 本发明提供通过电子束蒸镀法能够形成高度均匀地分散有稀土类金属的氧化镁膜的蒸镀材料。多晶氧化镁材料包含平均结晶粒径为2.0～50μm的氧化镁结晶粒子的多晶体，稀土类金属以0.005～0.060质量％的量分散在氧化镁结晶粒子中。

公开(公告)号：CN101634010A

公开(公告)日：2010-01-27

申请号：CN200910166952.X

申请日：2009-06-12

Applicant: 宇部材料工业株式会社

Inventor： 植木明 ,  增田彰 ,  高崎薰 ,  財田真人

IPC: C23C14/08 ,  C30B29/16 ,  C04B35/04

Abstract: 本发明提供通过电子束蒸镀法能够形成高度均匀地分散有稀土类金属的氧化镁膜的蒸镀材料。多晶氧化镁材料包含平均结晶粒径为2.0～50μm的氧化镁结晶粒子的多晶体，稀土类金属以0.005～0.060质量％的量分散在氧化镁结晶粒子中。