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公开(公告)号：CN101226158A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200810004051.6
申请日：2008-01-16
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G01N21/958 , G02F1/13
Abstract: 本发明提供一种透光性材料的缺陷检测装置。在行进的膜的上下，正交偏振地配置第1以及第2偏振板。通过从投光器通过第1偏振板照射光，并用受光器接受从第2偏振板射出的光，来检测出膜的缺陷。第1偏振板和投光器之间，设置有带通滤波器。带通滤波器，去除来自投光器的光之中、波段为420nm以下以及700nm以上的光。由于不需要的波段的光没有入射到受光器，因此能够提高缺陷检测精度。
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公开(公告)号：CN101587081B
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN200910149761.2
申请日：2009-03-27
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明涉及缺陷检测方法及装置。使膜在配置于十字尼科耳的第一偏振片和第二偏振片之间走行。卤素灯经由第一偏振片对膜照射光。卤素灯发出的光中仅存在一条辉线。由于膜上的缺陷等使辉度发生变化的光经由第二偏振片和除去光学系统入射至光接收器。对光接收器的输出信号进行微分处理。根据被实施微分处理的微分处理信号检测出极大信号和极小信号。求得预先设定的基准信号的辉度值与所述极大信号的辉度值的差作为第一差分值，并且求得基准信号的辉度值与极小信号的辉度值的差作为第二差分值。当将第一差分值和第二差分值相加求得的相加值为一定值以上时，则确定极大信号和极小信号为缺陷信号。
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公开(公告)号：CN101587081A
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：CN200910149761.2
申请日：2009-03-27
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明涉及缺陷检测方法及装置。使膜在配置于十字尼科耳的第一偏振片和第二偏振片之间走行。卤素灯经由第一偏振片对膜照射光。卤素灯发出的光中仅存在一条辉线。由于膜上的缺陷等使辉度发生变化的光经由第二偏振片和除去光学系统入射至光接收器。对光接收器的输出信号进行微分处理。根据被实施微分处理的微分处理信号检测出极大信号和极小信号。求得预先设定的基准信号的辉度值与所述极大信号的辉度值的差作为第一差分值，并且求得基准信号的辉度值与极小信号的辉度值的差作为第二差分值。当将第一差分值和第二差分值相加求得的相加值为一定值以上时，则确定极大信号和极小信号为缺陷信号。
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公开(公告)号：CN101551343B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN200910129723.0
申请日：2009-03-24
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G01N21/892
Abstract: 本发明公开一种膜缺陷检查方法和装置，在由受光机(24)对从投光机(22)向透明膜(12)面照射的检查光(20)在膜表面所反射的反射散射光进行检测，并基于检测结果对膜表面的微细伤痕(14)进行检查的膜缺陷检查方法中，一边对透明膜(12)沿其长度方向及宽方向进行牵引而保持膜的平面性，一边在与微细伤痕(14)的发生方向大致平行地配置投光机(22)的状态将检查光(20)照射到膜表面，并且在与微细伤痕(14)的发生方向大致平行地配置受光机(24)的状态中对反射散射光进行受光。由此甚至是膜表面产生的微细缺陷也能够高灵敏度进行检测。
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公开(公告)号：CN101551343A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200910129723.0
申请日：2009-03-24
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G01N21/892
Abstract: 本发明公开一种膜缺陷检查方法和装置，在由受光机(24)对从投光机(22)向透明膜(12)面照射的检查光(20)在膜表面所反射的反射散射光进行检测，并基于检测结果对膜表面的微细伤痕(14)进行检查的膜缺陷检查方法中，一边对透明膜(12)沿其长度方向及宽方向进行牵引而保持膜的平面性，一边在与微细伤痕(14)的发生方向大致平行地配置投光机(22)的状态将检查光(20)照射到膜表面，并且在与微细伤痕(14)的发生方向大致平行地配置受光机(24)的状态中对反射散射光进行受光。由此甚至是膜表面产生的微细缺陷也能够高灵敏度进行检测。
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