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公开(公告)号：CN114514471A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202080070628.2
申请日：2020-09-17
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种经过滤器过滤的感放射线性树脂组合物的批次间的性能偏差得到抑制的感放射线性树脂组合物的制造方法、图案形成方法及电子器件的制造方法。本发明的感放射线性树脂组合物的制造方法包括：工序1，使包含第1有机溶剂的第1溶液与第1过滤器接触以清洗第1过滤器；及工序2，使用在工序1中清洗的第1过滤器过滤感放射线性树脂组合物。
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公开(公告)号：CN113767333B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202080032434.3
申请日：2020-05-12
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物的制造方法，其抑制所形成的图案的缺陷的产生，并且抑制了长期保管后的灵敏度的变动。感放射线性树脂组合物的制造方法具有：工序1，在搅拌槽中至少投入通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及溶剂；及工序2，在搅拌槽内，在非活性气体的浓度为90体积％以上的气体下，将通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及溶剂搅拌混合，从而制造感放射线性树脂组合物，在工序2中，搅拌槽内的气压比搅拌槽外的气压高，在工序2中，搅拌槽内的气压与搅拌槽外的气压之差为2.0kPa以下。
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公开(公告)号：CN115298613A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202180021154.7
申请日：2021-03-01
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , C07C309/17 , G03F7/039 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种降低了颗粒的含量的感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法。并且，提供一种图案形成方法及电子器件的制造方法。感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法包括：工序1，制备包含光产酸剂和溶剂的中间体溶液；及工序2，将上述中间体溶液与至少树脂进行混合，制备粘度为10mPa·s以上的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。
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公开(公告)号：CN113767333A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202080032434.3
申请日：2020-05-12
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物的制造方法，其抑制所形成的图案的缺陷的产生，并且抑制了长期保管后的灵敏度的变动。感放射线性树脂组合物的制造方法具有：工序1，在搅拌槽中至少投入通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及溶剂；及工序2，在搅拌槽内，在非活性气体的浓度为90体积％以上的气体下，将通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及溶剂搅拌混合，从而制造感放射线性树脂组合物，在工序2中，搅拌槽内的气压比搅拌槽外的气压高，在工序2中，搅拌槽内的气压与搅拌槽外的气压之差为2.0kPa以下。
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公开(公告)号：CN115803683A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202180048994.2
申请日：2021-07-02
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/039
Abstract: 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、以及使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的抗蚀剂膜、图案形成方法、及能够通过电子器件的制造方法形成CDU优异的图案的感光化射线性或感放射线性树脂组合物、以及使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，所述感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有酸分解性树脂A及酸分解性树脂B，其中，关于上述树脂A和上述树脂B，具有酸分解性基团的重复单元的摩尔基准的含有率的差的绝对值为5～20摩尔％，酸分解性基团的结构相同，质量基准的含有率的比为10/90～90/10，重均分子量的差的绝对值为100～5000，分子量分布的差的绝对值为0.05以上。
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