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公开(公告)号：CN102230155B
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201110163125.2
申请日：2007-01-09
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: H01L21/67201 , Y10S414/139
Abstract: 本发明的实施方式包括一腔体，该腔体的顶部或底部至少其中之一与腔体侧壁分离。本发明适于用作真空交换腔、基板传递腔和真空处理腔等。
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