公开(公告)号：CN104040732A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201280065730.9

申请日：2012-12-31

Applicant: 应用材料公司

Inventor： H·K·波内坎蒂 ,  A·S·波利亚克 ,  J·莱厄罗伊斯 ,  M·S·考克斯 ,  C·T·莱恩 ,  E·P·哈蒙德四世 ,  H·P·穆格卡 ,  S·施莱弗 ,  W·布施贝克 ,  J·亨里希 ,  A·洛珀

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/042 ,  H01L31/0216

CPC classification number: H01L31/18 ,  C23C14/568 ,  C23C16/54 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6776

Abstract: 本发明大体提供一种用于形成太阳能电池装置的一或更多个区域的高产出基板处理系统。在处理系统的一个配置中，于包含在高产出基板处理系统内的一或更多个处理腔室内沉积并进一步处理一或更多个太阳能电池钝化层或介电层。处理腔室可为(例如)等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)腔室、低压化学气相沉积(LPCVD)腔室、原子层沉积(ALD)腔室、物理气相沉积(PVD)或溅镀腔室、热处理腔室(例如，RTA或RTO腔室)、基板重定向腔室(例如，翻转(flip)腔室)及/或其他类似的处理腔室。

公开(公告)号：CN104094394A

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN201380007505.4

申请日：2013-01-22

Applicant: 应用材料公司

Inventor： W·布施贝克 ,  J·亨里希 ,  A·洛珀

IPC: H01L21/677 ,  H01L31/18 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67739 ,  H01L21/67201

Abstract: 本发明提供一种动态负载锁定腔室，该动态负载锁定腔室包括沿该动态负载锁定腔室的长度放置以实现从腔室的大气压力侧至处理压力侧的期望气压梯度的数个致动器。该腔室包括传输带，该传输带连续贯穿腔室以完成以下步骤：若基板位于生产线的入口侧，则将基板从腔室的大气压力侧传输至处理压力侧，且若基板经放置于生产线的出口侧，则将基板从腔室的处理压力侧传输至大气压力侧。分离机构可附接于输送带以将腔室内的分散区域分离成数个分散容积。基板可设置在分离机构之间，使得在传输基板穿过腔室时维持腔室内的邻近压力区域之间的分离。