公开(公告)号：CN111742401B

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN201980014053.X

申请日：2019-02-20

Applicant: 应用材料公司

Inventor： K·B·多林 ,  G·J·威尔森 ,  K·拉马纳坦 ,  M·D·塞法堤 ,  K·格里芬

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  C23C16/455

Abstract: 描述了加热器，加热器具有有顶部和底部的主体，加热器包括热解氮化硼(PBN)、第一加热器电极、和第二加热器电极。加热器电极可以封闭在电绝缘支座内并连接到单独的汇流条以提供电力。还描述了包括一个或多个加热器的加热器组件和包括该加热器组件的处理腔室。

公开(公告)号：CN111742401A

公开(公告)日：2020-10-02

申请号：CN201980014053.X

申请日：2019-02-20

Applicant: 应用材料公司

Inventor： K·B·多林 ,  G·J·威尔森 ,  K·拉马纳坦 ,  M·D·塞法堤 ,  K·格里芬

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  C23C16/455

Abstract: 描述了加热器，加热器具有有顶部和底部的主体，加热器包括热解氮化硼(PBN)、第一加热器电极、和第二加热器电极。加热器电极可以封闭在电绝缘支座内并连接到单独的汇流条以提供电力。还描述了包括一个或多个加热器的加热器组件和包括该加热器组件的处理腔室。