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公开(公告)号：CN107710378A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680034055.1
申请日：2016-04-19
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01J37/32
Abstract: 本文描述的实现方式提供一种基板支撑组件，该基板支撑组件实现等离子体腔室内的等离子体调谐。在一个实施例中，提供一种用于在腔室中调谐等离子体的方法。该方法包含以下步骤：向基板支撑组件中的第一电极提供第一射频功率及直流功率；向第二电极提供第二射频功率，该第二电极在该基板支撑组件中与第一电极不同的位置处；监测该第一和第二射频功率的参数；及基于所监测的参数，调整该第一和第二射频功率中的一者或两者。
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公开(公告)号：CN103766003A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280041425.6
申请日：2012-10-15
Applicant: 应用材料公司
IPC: H05H1/34 , H05H1/46 , H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/3233 , G21K5/00 , H05H1/46 , H05H7/001
Abstract: 一种在工作件处理腔室中通过电子束产生等离子体的等离子体反应器，该等离子体反应器具有电子束源及分段束收集器，该分段束收集器是剖面式的以促进电子束产生的等离子体中的均匀性。
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公开(公告)号：CN107710378B
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201680034055.1
申请日：2016-04-19
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01J37/32
Abstract: 本文描述的实现方式提供一种基板支撑组件，该基板支撑组件实现等离子体腔室内的等离子体调谐。在一个实施例中，提供一种用于在腔室中调谐等离子体的方法。该方法包含以下步骤：向基板支撑组件中的第一电极提供第一射频功率及直流功率；向第二电极提供第二射频功率，该第二电极在该基板支撑组件中与第一电极不同的位置处；监测该第一和第二射频功率的参数；及基于所监测的参数，调整该第一和第二射频功率中的一者或两者。
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公开(公告)号：CN103766005A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280042408.4
申请日：2012-10-15
Applicant: 应用材料公司
IPC: H05H1/46 , H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/3233 , H01J37/32357 , H01J37/32422 , H01J37/32669
Abstract: 周期性地切换环绕等离子体反应器的处理区域的电子束源阵列以改变电子束传播方向并消除或降低不均匀性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103748970A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201280041424.1
申请日：2012-10-12
Applicant: 应用材料公司
IPC: H05H1/24 , H01L21/205
CPC classification number: H01J37/3233 , H01J2237/06366
Abstract: 依赖电子束作为等离子体源的等离子体反应器在电子束源中使用剖面式电子束析取网格以改良均匀性。
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公开(公告)号：CN108770167B
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN201810400150.X
申请日：2014-08-15
Applicant: 应用材料公司
IPC: H05H1/24
Abstract: 描述了一种用于处理腔室的模块化等离子体源组件。所述组件包括RF热电极且具有邻接电极的侧而定位的端部电介质和滑动式接地连接件。密封箔将滑动式接地连接件连接至外壳以提供接地的滑动式接地连接件，所述接地的滑动式接地连接件通过端部电介质与热电极分开。同轴馈送线穿过导管而进入与处理环境隔离的RF热电极，使得当等离子体处理区域处于减小的压力下时，同轴RF馈送线处于大气压力下。
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公开(公告)号：CN105474362B
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201480045378.1
申请日：2014-08-15
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/205 , H01L21/02
CPC classification number: H01J37/32091 , H01J37/32357 , H01J37/32513 , H01J37/32541 , H01J37/32568
Abstract: 描述了一种用于处理腔室的模块化等离子体源组件。所述组件包括RF热电极且具有邻接电极的侧而定位的端部电介质和滑动式接地连接件。密封箔将滑动式接地连接件连接至外壳以提供接地的滑动式接地连接件，所述接地的滑动式接地连接件通过端部电介质与热电极分开。同轴馈送线穿过导管而进入与处理环境隔离的RF热电极，使得当等离子体处理区域处于减小的压力下时，同轴RF馈送线处于大气压力下。
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公开(公告)号：CN104412718A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201380035698.4
申请日：2013-06-05
Applicant: 应用材料公司
IPC: H05H1/46 , H01L21/205 , C23C16/50
CPC classification number: C23C16/5096 , H01J37/3211 , H01J37/32651 , H05H1/46 , H05H2001/4667
Abstract: 一种等离子体反应器具有架空的多线圈感应等离子体源，该等离子体源具有对称RF馈送及围绕该对称RF馈送的对称RF遮罩。
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公开(公告)号：CN110419091A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201880018470.7
申请日：2018-03-14
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种在腔室中的工件上执行类金刚石碳沉积的方法，包括：将工件支撑在腔室中，其中所述工件面向从腔室的顶板悬吊的上电极；将烃气引入腔室中；以及以第一频率将第一RF功率施加至上电极，其在腔室中产生等离子体且在所述工件上产生类金刚石碳的沉积。施加RF功率产生从上电极朝向工件的电子束以增强烃气的离子化。
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