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公开(公告)号：CN101432840A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200780015342.9
申请日：2007-04-26
Applicant: 应用材料股份有限公司
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/024 , H01J2237/083
Abstract: 本发明是关于适于离子植入机的离子源的前板。根据本发明的前板包含：正及反侧；出口孔洞，其允许离子由离子源移出，且出口孔洞在正及反侧之间是实质平直地延伸穿过前板；及狭缝，由正侧向反侧以其至少一部分厚度的倾斜而穿透前板，且狭缝由前板的一侧延伸以与出口孔洞连结。狭缝是经过倾斜以阻挡在由前方观看时进入离子源的视线，且提供膨胀间隙。
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