一种光刻用多功能石英载体及其加工工艺

    公开(公告)号:CN111128816A

    公开(公告)日:2020-05-08

    申请号:CN201911331290.7

    申请日:2019-12-21

    Applicant: 张忠恕

    Abstract: 本发明公开一种光刻用多功能石英载体的加工工艺,该石英载体包括内缸与外缸,所述内缸与外缸固定焊接为一体,所述内缸尺寸小于外缸,内缸与外缸之间形成封闭夹层,所述内缸包括第一内侧板、第二内侧板、第三内侧板、第四内侧板、内底板,所述第一内侧板、第二内侧板、第三内侧板、第四内侧板与所述内底板固定焊接为一体,所述外缸包括第一外侧板、第二外侧板、第三外侧板、外底板,所述第一外侧板设置两个,且两个第一外侧板与第二外侧板、第三外侧板及外底板固定焊接为一体。

    一种自测温螺旋式点火腔室

    公开(公告)号:CN111023147A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201911331280.3

    申请日:2019-12-21

    Applicant: 张忠恕

    Abstract: 本发明公开了一种自测温螺旋式点火腔室,包括本体、第一连接管、螺旋管、匀流板、第二连接管、定位管、第三连接管、第一球碗管、第四连接管、第五连接管、第六连接管、第二球碗管,所述本体与第一连接管固定连接,所述第一连接管与第五连接管固定连接,所述本体左端端头位置焊接有匀流板,所述匀流板一端通过焊接方式连接着第一连接管,另一端固定连接着第二连接管,所述第二连接管与螺旋管的一端固定焊接,所述螺旋管的另一端通过焊接方式连接着第三连接管,所述螺旋管中心位置设有定位管,所述定位管靠近第二连接管一端为密封头,所述密封头为弧形头结构,所述定位管另一端延伸至所述本体内壁与第一球碗管固定焊接,且相通。

    一种外延工艺石英焊件及其加工方法

    公开(公告)号:CN110963686A

    公开(公告)日:2020-04-07

    申请号:CN201911331307.9

    申请日:2019-12-21

    Applicant: 张忠恕

    Abstract: 本发明公开一种外延工艺石英焊件及其加工方法,包括第一乳白砣石英、对接孔、第一透明石英、第二透明石英、球头体、石英旋转轴、第二乳白砣石英、托架、硅片,所述第一乳白砣石英上开有对接孔,所述第一透明石英与第一乳白砣石英焊接为一体,所述第一透明石英下端固定连接第二透明石英,所述第二透明石英下固定连接球头体,所述第一透明石英、第二透明石英镶嵌有石英旋转轴,所述第一乳白砣石英呈环形,且位于第一乳白砣石英上端面设有与对接法兰相配合的石英环垫槽。

    一种筛板式反应器石英载体及其加工工艺

    公开(公告)号:CN110975781A

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201911331292.6

    申请日:2019-12-21

    Applicant: 张忠恕

    Abstract: 本发明公开了一种筛板式反应器石英载体及其加工工艺,包括主管体、法兰、顶板、挡板、石英环、偶管、小法兰,所述主管体通过焊接方式与法兰固定连接,位于所述主管体上紧邻所述法兰位置固定对称焊接有小法兰,所述主管体外侧固定焊接有偶管,所述法兰相对应一侧固定焊接有顶板,所述顶板位于所述主管体最外侧,所述挡板中心位置对称开有两个通孔,所述挡板固定焊接于所述主管体内,且与所述顶板平行设置,位于顶板、挡板之间固定设有石英环,所述石英环通过焊接方式与顶板及挡板固定连接,所述顶板大小为所述挡板的1.7倍。

    一种双层立式石英管载体及其加工方法

    公开(公告)号:CN111013515A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201911331293.0

    申请日:2019-12-21

    Applicant: 张忠恕

    Abstract: 本发明公开一种双层立式石英管载体及其加工方法,包括内管、外管、第一石英片、第二石英片、法兰、第一偶管、第二偶管、第三偶管、通气管、第一小法兰、第二小法兰、第三小法兰,所述内管镶嵌在外管内,所述内管与外管通过焊接方式固定连接在一起,所述内管、外管之间空隙距离为15mm,所述第一偶管、第二偶管、第三偶管、固定焊接在所述内管内壁上,所述第一小法兰、第二小法兰、第三小法兰与所述内管固定焊接,所述通气管与内管固定焊接,且位于通气管下固定焊接支撑片。

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