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公开(公告)号：CN111106049A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201911331278.6
申请日：2019-12-21
Applicant: 张忠恕
IPC: H01L21/673 , C03C15/02
Abstract: 本发明公开一种多层级立式石英舟及其加工工艺，包括上端板、下端板、上开槽棒、下开槽棒、第一环片、第二环片、第一石英钉、第二石英钉，所述所述上端板与下端板之间焊接有上开槽棒、下开槽棒，所述上开槽棒、下开槽棒外围固定焊接有固定柱与上端板与下端板固定焊接，所述上开槽棒、下开槽棒内设置有第一环片、第二环片，所述第一环片、第二环片上通过粘接固定连接有第一石英钉、第二石英钉。
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公开(公告)号：CN110975781A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911331292.6
申请日：2019-12-21
Applicant: 张忠恕
Abstract: 本发明公开了一种筛板式反应器石英载体及其加工工艺，包括主管体、法兰、顶板、挡板、石英环、偶管、小法兰，所述主管体通过焊接方式与法兰固定连接，位于所述主管体上紧邻所述法兰位置固定对称焊接有小法兰，所述主管体外侧固定焊接有偶管，所述法兰相对应一侧固定焊接有顶板，所述顶板位于所述主管体最外侧，所述挡板中心位置对称开有两个通孔，所述挡板固定焊接于所述主管体内，且与所述顶板平行设置，位于顶板、挡板之间固定设有石英环，所述石英环通过焊接方式与顶板及挡板固定连接，所述顶板大小为所述挡板的1.7倍。
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公开(公告)号：CN111517257A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201911331291.1
申请日：2019-12-21
Applicant: 张忠恕
Abstract: 本发明公开一种托盘升降轴焊件及其加工工艺，包括第一连接棒、第二连接棒、第三连接棒、第四连接棒、支架板、固定台、延伸轴，所述第一连接棒、第二连接棒、第三连接棒、第四连接棒通过焊接方式固定为一体，所述第三连接棒为乳白石英，位于所述第四连接棒上端固定有延伸轴，所述延伸轴与第四连接棒为一体结构，位于所述延伸轴与所述第四连接棒相接处外圆周上固定设有支架板，所述第一连接棒上中心位置开有第一通孔，所述第一通孔延伸至第二连接棒处。
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公开(公告)号：CN110981172A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911331294.5
申请日：2019-12-21
Applicant: 张忠恕
IPC: C03B23/207 , C03C27/00
Abstract: 本发明公开一种外延工艺石英焊件组件及其加工工艺，包括第一乳白砣石英环、第一透明石英、配阶台、石英环片、第一配合沿、第二乳白砣石英、对接槽、第二配合沿，所述第一乳白砣石英环内镶嵌有第一透明石英，所述第一乳白砣石英环下端面固定设有配阶台，位于所述配阶台外设有石英环片，所述第一乳白砣石英环上固定开设有第一配合沿，所述第一乳白砣石英环与第二乳白砣石英相配合。
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公开(公告)号：CN109853042A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201811492772.6
申请日：2018-12-07
Applicant: 张忠恕
Inventor： 张忠恕
IPC: C30B31/16
Abstract: 本发明涉及一种新型氧化扩散炉系统用进气管，包括前后连接的弯折通气管和直通气管，所述弯折通气管和直通气管均由石英管制成，所述弯折通气管与进气端连接，所述直通气管与出气端连通，所述直通气管靠近弯折通气管的下方具有开口与高压进气管连通，所述高压进气管与弯折通气管外壁通过胶接固定。设置高压进气管，可以实现进气端的进气与高压进气管的进气之间的加速混合，实现扩散原子的均匀分布，同时可以实现出气端输出气体压力的微量调节，避免现有技术中对进气端整体气体压力的调节引起的出气端气体压力的过大波动，有效提高扩散加工工艺的稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108863029A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201710324277.3
申请日：2017-05-10
Applicant: 张忠恕
Abstract: 本发明涉及一种新型石英坩埚加工方法，利用玻璃车床对石英法兰进行一次性对接，改变了传统的焊接方法，使垂直度和同心度均有了大幅度的提高；针对圆弧顶部的特点以及设备的特点，进行了精准的测算，在坩埚内部设计了一个与坩埚内部贴合的辅助卡具，打孔时直接穿过坩埚壁，打到模具上，这样有效的控制了产品的炸裂，降低了物料浪费。
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公开(公告)号：CN111128816A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911331290.7
申请日：2019-12-21
Applicant: 张忠恕
IPC: H01L21/673 , C03B20/00
Abstract: 本发明公开一种光刻用多功能石英载体的加工工艺，该石英载体包括内缸与外缸，所述内缸与外缸固定焊接为一体，所述内缸尺寸小于外缸，内缸与外缸之间形成封闭夹层，所述内缸包括第一内侧板、第二内侧板、第三内侧板、第四内侧板、内底板，所述第一内侧板、第二内侧板、第三内侧板、第四内侧板与所述内底板固定焊接为一体，所述外缸包括第一外侧板、第二外侧板、第三外侧板、外底板，所述第一外侧板设置两个，且两个第一外侧板与第二外侧板、第三外侧板及外底板固定焊接为一体。
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公开(公告)号：CN110977355A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911331279.0
申请日：2019-12-21
Applicant: 张忠恕
Abstract: 本发明公开一种化学气象沉积CVD外管及其加工工艺，包括石英板、对接外管、顶盖、配重沿、内口、石英片、外对接口，所述石英板与对接外管焊接为一体结构，所述对接外管前端固定有顶盖，所述石英板为环形，且位于石英板外固定设有配重沿，所述石英板上开有内口，位于所述石英板内紧邻所述内口处固定有石英片，所述石英片搭接在石英板内倾斜面上，所述石英片与石英板焊接固定。
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公开(公告)号：CN110429055A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201910715106.2
申请日：2019-08-05
Applicant: 张忠恕
Inventor： 张忠恕
IPC: H01L21/673 , B24B7/22 , B24B9/06 , B24C1/04 , B28D5/00
Abstract: 本发明提出了一种石英条制作方法、开槽方法及石英槽舟，该石英条制作方法包括使用切割设备进行石英锭的切割，并在切割后形成石英条；对切割后形成的石英条进行一次酸洗处理；对一次酸洗完成的石英条进行一次抛光处理；将一次抛光完成的石英条进行一次退火处理；该开槽方法包括对一次退火完成的石英条进行开槽处理；对开槽完成的带槽石英条进行打磨处理；打磨完成的带槽石英条进行二次酸洗对打磨完成的带槽石英条进行二次酸洗对打磨完成的带槽石英条进行二次酸洗；对二次酸洗完成的带槽石英条进行二次抛光；对二次抛光后的带槽石英条进行二次退火；对二次退火后的带槽石英条进行三次酸洗；本发明公开的石英条制作方法、开槽方法及石英槽舟在增加使用寿命的前提下缩短制作周期，且降低使用成本。
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公开(公告)号：CN109853043A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201811492773.0
申请日：2018-12-07
Applicant: 张忠恕
Inventor： 张忠恕
Abstract: 本发明涉及一种用于氢氧合成的氧化扩散炉系统点火腔室，包括腔体及分别位于腔体两端的导流板和通气管，所述通气管末端具有出气口，所述导流板另一端分别连通氧气入口和氢气入口，所述腔体上位于导流板一端的下方设置有测温偶管，所述测温偶管与外部控制器连接，所述外部控制器根据测温偶管检测的温度控制氧气入口和氢气入口的开关，通过温度检测可以实时判断腔体内气体是否充分燃烧，当温度过低，燃烧不充分时，及时通过控制器关闭气体入口，防止发生危险。
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