公开(公告)号：CN1669177A

公开(公告)日：2005-09-14

申请号：CN03817237.2

申请日：2003-06-27

Applicant: 微制造公司

Inventor： E·R·布朗 ,  J·D·艾丹斯 ,  C·A·邦格 ,  A·L·科恩 ,  M·S·洛卡德 ,  D·R·斯莫利 ,  M·格洛瑟

IPC: H01P3/06 ,  H01P5/18 ,  H01P11/00

CPC classification number: H01P11/005 ,  B81B2201/0292 ,  B81C1/00126 ,  B81C2201/0109 ,  C23C18/1605 ,  C23C18/1651 ,  C25D1/003 ,  H01P1/202 ,  H01P3/06 ,  H01P5/183 ,  H01P11/00

Abstract: 提供射频和微波辐射导引或控制元件，其可为单片集成的、可由多项电沉积操作和/或由多个沉积层材料形成、可包括开关、电感器、天线、传输线、滤波器、混合耦合器、天线阵列和/或其它有源或无源元件。元件可包括可用来分离牺牲材料与结构材料的非辐射进入和非辐射离开通路。较佳的形成工艺使用电化学制造技术(例如包括选择性沉积、体块沉积、蚀刻操作及平坦化操作)以及后沉积工艺(例如选择性蚀刻操作和/或回填操作)。