公开(公告)号：CN108701759B

公开(公告)日：2022-08-16

申请号：CN201780014032.9

申请日：2017-03-16

Applicant: 德克萨斯仪器股份有限公司

Inventor： L·A·斯特林格 ,  M·艾莎 ,  B·小舒力沃 ,  S·切瓦恰罗恩库尔 ,  M·R·基米奇 ,  S·拉文库尔 ,  M·L·詹森

IPC: H01L43/12 ,  H01L21/302

Abstract: 在所描述的示例中，一种方法包括形成蚀刻停止层(151)、第一钛层(312)、磁芯(130)、第二钛层(342)，以及图案化第一钛层(312)和第二钛层(342)。蚀刻停止层(151)形成在衬底上方。第一钛层(312)形成在蚀刻停止层(151)上。磁芯(130)形成在第一钛层(312)上。第二钛层(342)具有第一部分和第二部分，该第一部分与第一钛层(312)封装磁芯(130)，该第二部分在磁芯(130)之外与第一钛层(312)接合。第一钛层(312)和第二钛层(342)的图案化包括在磁芯区(170)上方形成掩模(352)，并且使用钛蚀刻剂(356，357)和氧化钛蚀刻剂(358)蚀刻由掩模(352)暴露出的第一钛层(312)和第二钛层(342)。

公开(公告)号：CN108701759A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201780014032.9

申请日：2017-03-16

Applicant: 德克萨斯仪器股份有限公司

Inventor： L·A·斯特林格 ,  M·艾莎 ,  B·小舒力沃 ,  S·切瓦恰罗恩库尔 ,  M·R·基米奇 ,  S·拉文库尔 ,  M·L·詹森

IPC: H01L43/12 ,  H01L21/302

CPC classification number: B81C1/00825 ,  B81C1/00365 ,  B81C2201/0138 ,  B81C2201/014 ,  G01R33/0047 ,  G01R33/0052 ,  G01R33/04

Abstract: 在所描述的示例中，一种方法包括形成蚀刻停止层(151)、第一钛层(312)、磁芯(130)、第二钛层(342)，以及图案化第一钛层(312)和第二钛层(342)。蚀刻停止层(151)形成在衬底上方。第一钛层(312)形成在蚀刻停止层(151)上。磁芯(130)形成在第一钛层(312)上。第二钛层(342)具有第一部分和第二部分，该第一部分与第一钛层(312)封装磁芯(130)，该第二部分在磁芯(130)之外与第一钛层(312)接合。第一钛层(312)和第二钛层(342)的图案化包括在磁芯区(170)上方形成掩模(352)，并且使用钛蚀刻剂(356，357)和氧化钛蚀刻剂(358)蚀刻由掩模(352)暴露出的第一钛层(312)和第二钛层(342)。