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公开(公告)号：CN104395496A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380033599.2
申请日：2013-05-21
Applicant: 拉波特株式会社
Inventor： 中野弘文
IPC: C23C14/32
CPC classification number: C23C14/32 , C23C14/0605 , H01J37/32018 , H01J37/32055 , H01J37/32357 , H01J37/32422 , H01J37/32568 , H01J37/32899
Abstract: 沉积装置(100)使材料颗粒(P)沉积，其包括：离子化部(20)，其在被供应材料颗粒(P)的反应室中利用光电效应使材料颗粒(P)离子化；以及电极部(32、34)，其利用库仑力将离子化的材料颗粒(P)向给定的区域引导。
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