公开(公告)号：CN1341275A

公开(公告)日：2002-03-20

申请号：CN00804164.4

申请日：2000-02-02

Applicant: 施蒂格哈马技术股份公司

Inventor： P·德雷斯 ,  U·蒂策 ,  J·塞克雷斯 ,  R·韦兴

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67248 ,  H01L21/67103

Abstract: 本发明涉及衬底热处理的一种方法和一种装置,其中衬底通过加热板加热,这样实现改善热均匀性,即应用可以单独控制的许多加热元件加热加热板,测量加热元件的温度,并且由PID调节器控制加热过程。此外,地点分辨地量测背离加热板的衬底表面的温度,根据量测的温度求得在衬底表面上的温度分布,求得单个加热元件的温度额定值,并传递到PID调节器。

公开(公告)号：CN1165964C

公开(公告)日：2004-09-08

申请号：CN00804164.4

申请日：2000-02-02

Applicant: 施蒂格哈马技术股份公司

Inventor： P·德雷斯 ,  U·蒂策 ,  J·塞克雷斯 ,  R·韦兴

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67248 ,  H01L21/67103

Abstract: 本发明涉及衬底热处理的一种方法和一种装置，其中衬底通过加热板加热，这样实现改善热均匀性，即应用可以单独控制的许多加热元件加热加热板，测量加热元件的温度，并且由PID调节器控制加热过程。此外，地点分辨地量测背离加热板的衬底表面的温度，根据量测的温度求得在衬底表面上的温度分布，求得单个加热元件的温度额定值，并传递到PID调节器。