公开(公告)号：CN100476582C

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN03817260.7

申请日：2003-07-10

Applicant: 施蒂格哈马技术股份公司

Inventor： A·施维尔森茨 ,  W·索勒 ,  A·内林 ,  P·德雷斯 ,  C·伯格尔 ,  M·钦克尔 ,  M·施特罗布尔

IPC: G03D5/04 ,  B05C5/00

CPC classification number: B05C5/005

Abstract: 为了将一种液体快速、均匀和尽可能不受力地涂覆到基片上，按照本发明设有一个用于将一种液体涂覆到基片上的喷嘴装置(22)，其中这装置具有一个喷嘴体(26)，它有多个基本设于一条线上的喷嘴(36)和一个基本垂直布置的、具有一个直的下底边的导向板(28)，而且其中这些喷嘴(36)在下底边之上都指向导向板(28)，因而在导向板(28)上形成了一个液体膜，它通过下底边(64)流出。

公开(公告)号：CN1688931A

公开(公告)日：2005-10-26

申请号：CN03817260.7

申请日：2003-07-10

Applicant: 施蒂格哈马技术股份公司

Inventor： A·施维尔森茨 ,  W·索勒 ,  A·内林 ,  P·德雷斯 ,  C·伯格尔 ,  M·钦克尔 ,  M·施特罗布尔

IPC: G03D5/04 ,  B05C5/00

CPC classification number: B05C5/005

Abstract: 为了将一种液体快速、均匀和尽可能不受力地涂覆到基片上，按照本发明设有一个用于将一种液体涂覆到基片上的喷嘴装置(22)，其中这装置具有一个喷嘴体(26)，它有多个基本设于一条线上的喷嘴(36)和一个基本垂直布置的、具有一个直的下底边的导向板(28)，而且其中这些喷嘴(36)在下底边之上都指向导向板(28)，因而在导向板(28)上形成了一个液体膜，它通过下底边(64)流出。