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公开(公告)号：CN1042861C
公开(公告)日：1999-04-07
申请号：CN94115782.2
申请日：1994-08-23
Applicant: 施蒂格微技术有限公司
CPC classification number: H01L21/6715 , B05C9/02 , B05C9/12 , B05C11/08 , B05C11/105 , B05D1/005 , B05D1/26
Abstract: 一种给基片涂膜的装置，该装置设有一毛细狭缝，用于给基片涂胶的第一步。在第二步，减薄基片的胶层厚度，在旋涂装置内靠旋转使膜更均匀。
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